[發明專利]玻璃膜的制造方法、玻璃卷的制造方法以及玻璃膜的制造裝置

在審

• 申請號: 202080079232.4
• 申請日: 2020-12-02
• 公開（公告）號: CN114761364A
• 公開（公告）日: 2022-07-15
• 發明（設計）人: 豬飼直弘;村田憲一
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09;B28D7/04;B65H20/14
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

一種玻璃膜(G1)的制造方法，至少包括在利用搬運裝置(8)沿規定的方向搬運帶狀的玻璃膜(G1)的同時將該帶狀的玻璃膜(G1)切斷的切斷工序(S5)，在切斷工序(S5)中，通過向玻璃膜(G1)照射激光(L)從而在規定的切斷區域(21)進行玻璃膜(G1)的切斷，并且搬運裝置(8)的玻璃膜(G1)的支承搬運面(23a、28a)在玻璃膜(G1)的切斷區域(21)斷開。另外，在相對于切斷區域(21)位于玻璃膜(G1)的寬度方向并且與切斷后的玻璃膜(G2a、G2b)的寬度方向中央側對應的位置配設能夠接觸支承玻璃膜(G2a、G2b)的第一平臺(38)。

技術領域

本發明涉及玻璃膜的制造方法、玻璃卷的制造方法以及玻璃膜的制造裝置，特別是涉及用于將帶狀的玻璃膜切斷的技術。

背景技術

如眾所周知的那樣，實際情況是，在用于液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示器(FPD)的板玻璃、用于有機EL照明的板玻璃、用于作為觸摸面板的構成要素的強化玻璃等的制造的板玻璃、以及用于太陽電池的面板等的板玻璃中，薄壁化不斷推進。

例如在專利文獻1中公開有厚度為幾百μm以下的玻璃膜。這種板玻璃也如在該文獻所記載的那樣，通常是由采用了所謂的溢流下拉法的成形裝置連續地成形。

在該情況下，已由溢流下拉法連續地成形的長條的玻璃膜在將其搬運方向從鉛垂方向轉換為水平方向之后，被搬運裝置的橫搬運部(水平搬運部)繼續向下游側搬運。在該搬運中途，玻璃膜的寬度方向兩端部(厚壁部)被切斷去除。之后，玻璃膜被卷繞輥呈卷狀卷繞，從而成為玻璃卷。

作為切斷玻璃膜的技術，在專利文獻1中公開有利用了激光的切斷方法。該切斷方法是被稱作所謂的激光割斷的方法，在該切斷方法中，將玻璃膜沿其長度方向搬運的同時，利用金剛石刀具等裂紋形成機構在玻璃膜形成初始裂紋，之后對該部分照射激光并進行加熱，之后，利用冷卻機構對已加熱的部分進行冷卻。由此，在玻璃膜產生熱應力，在該熱應力的作用下使初始裂紋發展，從而該玻璃膜被切斷。

在對厚度為200μm以下的超薄型的玻璃膜進行搬運的同時利用上述方法進行切斷的情況下，在玻璃膜的搬運中可能在該玻璃膜產生無數的褶皺。存在如下的問題，當在該褶皺與激光的照射位置重疊的狀態下進行玻璃膜的切斷時，在由切斷產生的玻璃膜的端面殘留由褶皺引起的不良部分。

因此，在專利文獻2中提出一種玻璃膜的制造方法，包括對在規定的搬運方向上搬運的帶狀的玻璃膜照射激光從而將玻璃膜切斷的切斷工序，在該玻璃膜的制造方法中，在切斷工序中，利用具有開口部的平臺支承玻璃膜的下表面，并且利用開口部吸引玻璃膜的同時，對玻璃膜照射激光。根據該結構，通過利用平臺的開口部對被沿著搬運方向搬運的帶狀的玻璃膜的一部分進行吸引，從而能夠防止在被吸引的部分產生褶皺，或者能夠使在玻璃膜產生的褶皺消失。因此，通過對玻璃膜的吸引部分照射激光并進行切斷，從而能夠期待防止切斷面中的不良的產生的效果。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-240883號公報

專利文獻2：國際公開2019/049646號公報

發明內容

發明要解決的課題