[發明專利]真空泵以及水冷襯墊

在審

• 申請號: 202080072064.6
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號: CN114555954A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 三輪田透;高井慶行
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D29/58
• 分類號: F04D29/58;F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李婷;司昆明

提供一種能夠防止內裝部件的破壞引起的、作為外裝體的一部件的水冷襯墊的破損的真空泵（P1）。真空泵具備：具有吸氣口（1A）的外裝體（1）、立設于外裝體的內部的定子柱（3）、包圍定子柱的外周的形狀的旋轉體（4），利用旋轉體的旋轉從吸氣口對氣體進行吸氣，其中，外裝體由包含在內部配設有水冷管（21）的水冷襯墊（20）的多個部件構成，水冷襯墊由作為機械性材料特性具有5％以上的延伸率的鋁合金的鑄造件構成。

技術領域

本發明涉及真空泵以及用于真空泵的水冷襯墊。

背景技術

作為本技術領域的背景技術，例如專利文獻1中記載了“真空泵具備：具有吸氣口的外裝體、立設于外裝體的內部的定子柱、包圍定子柱的外周的形狀的旋轉體、能夠旋轉地支承旋轉體的支承機構、旋轉驅動旋轉體的驅動機構，利用旋轉體的旋轉從吸氣口將氣體吸入，其中，定子柱由作為機械材料特性具有5％以上的延伸率的鋁合金的鑄造件構成（參照摘要）。

根據該專利文獻1，由具有5％以上的延伸率的鋁合金的鑄造件構成定子柱，所以萬一旋轉體的破壞能量作用于定子柱時，也能夠利用定子柱的延伸而充分地吸收這樣的破壞能量，能夠防止破壞能量導致的定子柱的龜裂、定子柱的破損導致的破片從吸氣口飛出等的不良。

【專利文獻1】日本特開2018－96336號公報。

本發明所要解決的課題

但是，在真空泵中，有時采用利用作為其外裝體的一部件的水冷襯墊來冷卻內裝部件的結構。此外，構成為在那樣的水冷襯墊中在內部埋設有水冷管，利用在水冷管中流動的水來冷卻真空泵的內裝部件。該結構時，首先必須要避免由于旋轉體的破壞能量而產生的真空泵的內裝部件的破片等向比外裝體還外側飛出。此外，還存在該破片作用于作為外裝體的一部件的水冷襯墊而水冷管破損的可能性。例如，當水冷管產生龜裂時，存在使用真空泵的半導體制造裝置等浸水而發生故障的危險。因而，當作為真空泵的外裝體的一部件而使用水冷襯墊時，該水冷襯墊要求更高的可靠性。但是，專利文獻1中，對于防止內裝部件的破壞引起的水冷襯墊的破損的技術沒有任何提及，存在改良的余地。

發明內容

本發明鑒于上述情況而提出，其主要目的在于提供一種能夠防止內裝部件的破壞引起的作為外裝體的一部件的水冷襯墊的破損的真空泵。

為了實現上述目的，本發明的一方式為真空泵，具備：具有吸氣口的外裝體、立設于前述外裝體的內部的定子柱、包圍前述定子柱的外周的形狀的旋轉體，利用前述旋轉體的旋轉而從前述吸氣口吸入氣體，其特征在于，前述外裝體由包含在內部配設有水冷管的水冷襯墊的多個部件構成，前述水冷襯墊由作為機械性材料特性而具有5％以上的延伸率的鋁合金的鑄造件構成。

此外，上述結構中，前述外裝體也可以構成為包含在其軸方向中位于基端側的基座、位于末端側的殼、位于前述基座以及前述殼之間的前述水冷襯墊。

此外，上述結構中，也可以構成為在前述旋轉體中多級地配設多個動翼，在前述殼內內以與前述多個動翼對置的方式多基地配設多個固定翼，前述水冷襯墊與前述多個固定翼的至少一個直接或者間接地熱接觸。

此外，上述結構中，也可以構成為在前述外裝體的內部配設有用于對從前述吸氣口吸氣的氣體進行加熱的加熱襯墊，前述加熱襯墊位于前述旋轉體與前述水冷襯墊之間。

此外，上述結構中，也可以構成為在前述加熱襯墊的內周面作用真空壓，在前述加熱襯墊的外周面以及前述水冷襯墊的內周面作用大氣壓，在前述水冷襯墊的外周面作用大氣壓。

此外，上述結構中，也可以構成為前述水冷襯墊在前述外裝體的軸方向中的基端側，進行了前述外裝體的徑方向的定位，在前述水冷襯墊與前述加熱襯墊的至少末端側，在前述外裝體的徑方向中形成有間隙。