[發(fā)明專利]光電波形分析過程有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202080067124.5 | 申請日： | 2020-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN114514431B | 公開（公告）日： | 2023-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 文卡特·克里希南·拉維庫瑪;陳健明;喬爾·光威·楊;白敬良 | 申請（專利權(quán)）人： | 超威半導(dǎo)體公司 |
| 主分類號： | G01R23/17 | 分類號： | G01R23/17;G01R31/311;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務(wù)所 31263 | 代理人： | 樊英如;張靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光電 波形 分析 過程 | ||
1.一種執(zhí)行光學(xué)探針測試的方法，所述方法包括：
將可重構(gòu)光學(xué)探針定位在被測裝置的單元內(nèi)的目標(biāo)探針位置處，所述單元包括待測量的目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)和多個非目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)；
在所述目標(biāo)探針位置處利用所述可重構(gòu)光學(xué)探針將測試圖案應(yīng)用于所述單元，并且作為響應(yīng)，獲得激光探針波形；以及
通過以下方式從所述激光探針波形提取目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)波形：
(i)配置所述可重構(gòu)光學(xué)探針以產(chǎn)生環(huán)狀光束，所述環(huán)狀光束在所述環(huán)狀光束的中心具有相對低強度區(qū)域；
(ii)在將所述相對低強度區(qū)域應(yīng)用于所述目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)的情況下，在所述目標(biāo)探針位置處將所述測試圖案再次應(yīng)用于所述單元，并且作為響應(yīng)，獲得串?dāng)_激光探針波形；
(iii)對所述串?dāng)_激光探針波形進行歸一化；以及
(iv)通過從所述激光探針波形減去所述歸一化的串?dāng)_激光探針波形來確定目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)波形。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述相對低強度區(qū)域包括光學(xué)渦旋。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述相對低強度區(qū)域小于所述可重構(gòu)光學(xué)探針的高斯擴展。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中配置所述可重構(gòu)光學(xué)探針以產(chǎn)生所述環(huán)狀光束包括將濾光片應(yīng)用于所述可重構(gòu)光學(xué)探針的激光發(fā)射器。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述環(huán)狀光束通過空間光調(diào)制產(chǎn)生。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中所述空間光調(diào)制由軌道角動量(OAM)調(diào)制器產(chǎn)生。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述環(huán)狀光束的半徑為大約200nm并且所述相對低強度區(qū)域的半徑為大約70nm。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其中：
所述可重構(gòu)光學(xué)探針在所述被測裝置的表面上的大小為大約200納米(nm)；并且
所述被測裝置是具有柵極長度小于20nm的晶體管的半導(dǎo)體集成電路。
9.一種用于對具有單元的被測裝置進行激光探測的激光探測系統(tǒng)，所述激光探測系統(tǒng)包括：
激光源；
光學(xué)系統(tǒng)，所述光學(xué)系統(tǒng)適于響應(yīng)于來自所述激光源的光而在所述被測裝置的可選擇位置處提供可重構(gòu)光學(xué)探針，接收來自所述被測裝置的反射光，并且輸出所述反射光；
接收器電路，所述接收器電路接收來自所述光學(xué)系統(tǒng)的所述反射光，并且響應(yīng)于所述反射光而提供激光探針波形；
測試控制器，所述測試控制器具有用于接收所述激光探針波形的第一輸入端和用于提供測量信號的輸出端，其中所述測試控制器使得所述可重構(gòu)光學(xué)探針在目標(biāo)探針位置處將測試圖案應(yīng)用于所述被測裝置，觸發(fā)所述接收器電路以捕捉所述激光探針波形，并且使得通過以下方式從所述激光探針波形提取目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)波形：(i)配置所述可重構(gòu)光學(xué)探針以產(chǎn)生環(huán)狀光束，所述環(huán)狀光束在所述環(huán)狀光束的中心具有相對低強度區(qū)域；(ii)在將所述相對低強度區(qū)域應(yīng)用于目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)的情況下，在所述目標(biāo)探針位置處將所述測試圖案再次應(yīng)用于所述單元，并且作為響應(yīng)，獲得串?dāng)_激光探針波形；(iii)對所述串?dāng)_激光探針波形進行歸一化；以及(iv)通過從所述激光探針波形減去所述歸一化的串?dāng)_激光探針波形來確定目標(biāo)網(wǎng)絡(luò)波形。
10.如權(quán)利要求9所述的激光探測系統(tǒng)，其中所述相對低強度區(qū)域包括光學(xué)渦旋。
11.如權(quán)利要求9所述的激光探測系統(tǒng)，其中所述相對低強度區(qū)域小于所述可重構(gòu)光學(xué)探針的高斯擴展。
12.如權(quán)利要求9所述的激光探測系統(tǒng)，其中配置所述可重構(gòu)光學(xué)探針以產(chǎn)生所述環(huán)狀光束包括將濾光片應(yīng)用于所述激光源。
13.如權(quán)利要求9所述的激光探測系統(tǒng)，其中所述環(huán)狀光束通過空間光調(diào)制產(chǎn)生。
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