[發明專利]使用氣體傳感器的測定方法和測定裝置

在審

• 申請號: 202080050969.3
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN114127557A
• 公開（公告）日: 2022-03-01
• 發明（設計）人: 吉川元起;根本尚大;的場正晃;南皓輔
• 申請（專利權）人: 國立研究開發法人物質材料研究機構
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 陳曦;向勇

1.一種使用氣體傳感器的測定方法，其中，

在對基準氣體和作為測定對象的試樣氣體進行切換的同時進行測定的使用氣體傳感器的測定方法中，

所述基準氣體以及所述試樣氣體中的至少一者有含有特定氣體的可能性，

使供給至所述氣體傳感器中的傳感器元件的所述基準氣體中的所述特定氣體的濃度與所述試樣氣體中的所述特定氣體的濃度平衡。

2.如權利要求1所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

通過經由所述特定氣體的透過膜連接所述基準氣體的流路和所述試樣氣體的流路來使所述基準氣體中的所述特定氣體的濃度與所述試樣氣體中的所述特定氣體的濃度平衡。

3.如權利要求2所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

通過經由所述透過膜和與其他透過膜之間夾持的其他氣體構成的結構連接所述基準氣體的流路和所述試樣氣體的流路。

4.如權利要求3所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述其他氣體是與所述基準氣體相同組成的氣體。

5.如權利要求2～4中任一項所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述透過膜含有可逆地吸收和放出所述特定氣體的材料以及具有使所述特定氣體通過的孔的材料中的至少一種。

6.如權利要求5所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

具有使所述特定氣體通過的孔的材料是中空纖維膜。

7.如權利要求5或6所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述可逆地吸收和放出所述特定氣體的材料是從由全氟磺酸聚合物以及乙烯醇系聚合物組成的組中選出的材料。

8.如權利要求1～7中任一項所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述傳感器元件是檢測表面應力的傳感器元件。

9.如權利要求8所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述檢測表面應力的傳感器元件是膜型表面應力傳感器元件。

10.如權利要求1～9中任一項所述的使用氣體傳感器的測定方法，其中，

所述特定氣體是水蒸氣。

11.一種氣體測定裝置，其中，其進行權利要求1～10中任一項所述的測定方法，

所述氣體測定裝置設置有基準氣源、獲得作為測定對象的試樣氣體的機構、以及在對來自所述基準氣源的基準氣體和所述試樣氣體進行交替地切換的同時提供給傳感器元件的機構。