[發(fā)明專利]用于調(diào)整徑向和角度偏移的密封接合件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202080050555.0
• 申請(qǐng)日: 2020-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN114270088A
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 泰勒·格林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): F16L27/06
• 分類號(hào): F16L27/06
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠;張華

一種密封接合件包括：第一管，其具有帶凸面的端部；和第二管，其具有帶凸面的端部。間隔件設(shè)置在所述第一管和所述第二管的相應(yīng)端部之間。所述間隔件的一側(cè)具有與所述第一管的所述端部的所述凸面基本匹配的凹面，而所述間隔件的另一側(cè)具有與所述第二管的所述端部的所述凸面基本匹配的凹面。所述間隔件包括通孔，所述通孔與所述第一管的流體通路和所述第二管的流體通路流體連通。捆扎元件分別耦合到所述第一管和所述第二管，所述捆扎元件在所述第一管和所述間隔件之間施加壓縮力，并且在所述第二管和所述間隔件之間施加壓縮力。

背景技術(shù)

在機(jī)器中，公差累積會(huì)使得組裝部件變得困難。舉例來說，在半導(dǎo)體處理工具中，管可用于將氣體從歧管輸送到閥并從閥輸送到處理室。公差累積會(huì)導(dǎo)致要連接的管的端部之間或管的端部與將和該管的端部連接的被連接部件(例如，連接到用于流體分配的歧管的部件)之間的相對(duì)較大的偏移，在某些情況下，偏移可能高達(dá)四分之一英寸。待連接的部件之間的這種相對(duì)較大的偏移會(huì)使安裝過程既困難又耗時(shí)。

正是在這種情況下出現(xiàn)了實(shí)施方案。

發(fā)明內(nèi)容

在一實(shí)施方案中，一種密封接合件(sealing interface)，其包括：第一管，其具有帶凸面的端部；和第二管，其具有帶凸面的端部。間隔件設(shè)置在所述第一管和所述第二管的相應(yīng)端部之間，所述間隔件包括第一側(cè)、第二側(cè)和從所述第一側(cè)延伸到所述第二側(cè)的第三側(cè)。所述間隔件的所述第三側(cè)具有限定所述間隔件的外周邊的外表面。所述間隔件的所述第一側(cè)具有與所述第一管的所述端部的所述凸面基本匹配的凹面。所述間隔件的所述第二側(cè)具有與所述第二管的所述端部的所述凸面基本匹配的凹面。所述間隔件包括從所述第一側(cè)延伸到所述第二側(cè)的通孔，所述通孔與所述第一管的流體通路和所述第二管的流體通路流體連通。多個(gè)捆扎元件分別耦合到所述第一管和所述第二管，所述多個(gè)捆扎元件在所述第一管和所述間隔件之間施加壓縮力，并且所述多個(gè)捆扎元件在所述第二管和所述間隔件之間施加壓縮力。

在一實(shí)施方案中，所述第一管的所述端部具有限定在其中的環(huán)形通道，在限定在所述第一管的所述端部內(nèi)的所述環(huán)形通道內(nèi)設(shè)置有密封構(gòu)件，使得所述密封構(gòu)件的一部分在所述環(huán)形通道中，并且所述密封構(gòu)件的一部分與所述間隔件的所述第一側(cè)接觸。在一實(shí)施方案中，在限定在所述第一管的所述端部內(nèi)的所述環(huán)形通道內(nèi)設(shè)置的所述密封構(gòu)件是O形環(huán)。

在一實(shí)施方案中，所述第二管的所述端部具有限定在其中的環(huán)形通道，在限定在所述第二管的所述端部內(nèi)的所述環(huán)形通道內(nèi)設(shè)置有密封構(gòu)件，使得所述密封構(gòu)件的一部分在所述環(huán)形通道中，并且所述密封構(gòu)件的一部分與所述間隔件的所述第二側(cè)接觸。在一實(shí)施方案中，在限定在所述第一管和所述第二管的相應(yīng)端部內(nèi)的所述環(huán)形通道內(nèi)設(shè)置的每個(gè)所述密封構(gòu)件是O形環(huán)。

在一實(shí)施方案中，所述第一管的所述端部具有從其延伸的凸緣，并且所述第二管的所述端部具有從其延伸的凸緣，并且從所述第一管和所述第二管的所述相應(yīng)端部延伸的所述凸緣中的每一個(gè)具有限定在其中的多個(gè)孔。在一實(shí)施方案中，所述多個(gè)捆扎元件分別耦合到所述第一管的所述凸緣中的所述多個(gè)孔和所述第二管的所述凸緣中的所述多個(gè)孔。在一實(shí)施方案中，所述多個(gè)捆扎元件包括彈簧、或線、或螺栓、或彈簧和/或線和/或螺栓的組合。

在一實(shí)施方案中，從所述第一管的所述端部延伸的所述凸緣與所述第一管一體成型，或者從所述第二管的所述端部延伸的所述凸緣與所述第二管一體成型。在一實(shí)施方案中，從所述第一管的所述端部延伸的所述凸緣由安裝在所述第一管上的單獨(dú)元件限定，或者從所述第二管的所述端部延伸的所述凸緣由安裝在所述第二管上的單獨(dú)元件限定。在一實(shí)施方案中，安裝在所述第一管或所述第二管上的所述單獨(dú)元件是墊圈。