[發(fā)明專利]具有減少的外部雜散磁場影響的磁場傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202080049664.0
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN114096807A
• 公開（公告）日: 2022-02-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R·拉薩爾-貝利耶;M·里烏;J-M·達加
• 申請（專利權(quán)）人: 阿萊戈微系統(tǒng)有限責任公司
• 主分類號: G01D5/14
• 分類號: G01D5/14;G01R33/07;G01R33/09;G01R33/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 林金朝

1.一種磁場傳感器，對具有以周期性圖案布置的多個目標特征的目標對象作出響應(yīng)，所述周期性圖案具有寬度為y的空間周期，所述目標對象能夠移動，使得所述目標特征相對于所述磁場傳感器沿著移動方向移動，所述磁場傳感器包括：

具有表面的襯底；以及

設(shè)置在所述襯底上的第一多個磁場感測元件，所述第一多個磁場感測元件包括x個磁場感測元件，每個磁場感測元件具有平行于公共軸并且平行于所述襯底的所述表面的相應(yīng)最大響應(yīng)軸，所述第一多個磁場感測元件布置在平行于所述移動方向的行中，其中，所述第一多個磁場感測元件中的外部磁場感測元件的中心之間的距離是y(1-1/x)，其中，所述第一多個磁場感測元件以單個串聯(lián)布置電耦合，從而產(chǎn)生串行串信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述多個磁場感測元件的所有相鄰對是等間隔的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述串行串信號基本上不對所述目標對象的所述移動作出響應(yīng)，并且其中，所述串行串信號與其對所述目標對象的所述移動作出響應(yīng)相比，更多地對在所述磁場傳感器的外部生成的雜散磁場作出響應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁場傳感器，還包括：

設(shè)置在所述襯底上并且不包括在所述第一多個磁場感測元件中的一個或多個磁場感測元件，每個磁場感測元件具有平行于所述公共軸并且平行于所述襯底的所述表面的相應(yīng)最大響應(yīng)軸，所述一個或多個磁場感測元件能夠操作以響應(yīng)于所述目標對象的所述移動而生成移動信號，其中，所述移動信號包括第一誤差信號分量。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁場傳感器，還包括：

校正處理器，被耦合以接收所述移動信號，被耦合以接收所述串行串信號，并且能夠操作以生成具有小于所述第一誤差信號分量的第二誤差信號分量的磁場傳感器信號。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磁場傳感器，其中，所述一個或多個磁場感測元件包括八個磁場感測元件，所述八個磁場感測元件中的前四個磁場感測元件以第一電橋電耦合，并且所述八個磁場感測元件中的后四個磁場感測元件以第二電橋耦合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁場傳感器，其中，所述第一電橋能夠操作以響應(yīng)于所述目標對象的所述移動而生成第一信號，并且所述第二電橋能夠操作以響應(yīng)于所述目標對象的所述移動而生成第二信號，其中，所述第一信號和所述第二信號彼此正交。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁場傳感器，還包括：

反正切處理器，被耦合以接收所述第一信號和所述第二信號，并且能夠操作以生成指示所述目標對象的所述移動的角度的角度信號，其中，所述移動信號對應(yīng)于角度信號，并且其中，所述第一誤差信號分量對應(yīng)于第一角度誤差分量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁場傳感器，還包括：

校正處理器，被耦合以接收所述角度信號，被耦合以接收所述串行串信號，并且能夠操作以生成具有小于所述第一角度誤差分量的第二角度誤差分量的磁場傳感器信號。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述目標對象包括鐵磁性目標對象。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的磁場傳感器，還包括：

靠近所述襯底設(shè)置的兩磁極磁體。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述目標對象包括具有兩個或更多個磁極的圓形磁體。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述第一多個磁場感測元件包括第一多個磁阻元件。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁場傳感器，其中，所述第一多個磁場感測元件包括第一多個垂直霍爾元件。