[發明專利]雙頻直驅電感耦合等離子體源

在審

• 申請號: 202080048328.4
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN114041204A
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 龍茂林;王雨后;亞歷山大·米勒·帕特森
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠;張華

1.一種向等離子體處理系統提供RF功率的方法，其包括：

提供接線盒，所述接線盒包括：

第一連接器，其被配置為連接第一直驅電路；

多個第二連接器，其被配置為連接線圈外殼；以及

第一電容電路，其連接于所述第一連接器與所述多個第二連接器之間；

提供線圈外殼，所述線圈外殼包括：

多個第三連接器，其連接所述接線盒的所述多個第二連接器；以及

第一線圈和第二線圈，其連接所述線圈外殼的所述多個第三連接器；

將所述接線盒和所述線圈外殼布置為與處理室的窗相鄰；以及

校準所述第一電容電路的電容值。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在不激勵所述處理室中的等離子體的情況下執行所述校準。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，所述校準在大氣壓下進行。

4.根據權利要求1所述的方法，其中執行所述校準以提供所述第一直驅電路的在第一頻率下的串聯諧振。

5.根據權利要求4所述的方法，其還包括在校準所述第一電容電路的所述電容值之后，將包括所述第一直驅電路的直驅外殼布置為與所述接線盒相鄰。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述接線盒還包括：

第四連接器，其被配置為連接第二直驅電路；

多個第五連接器，其被配置為連接所述線圈外殼；以及

第二電容電路，其連接在所述第四連接器和所述多個第五連接器之間。

7.根據權利要求6所述的方法，其中所述線圈外殼包括：

多個第六連接器，其連接所述接線盒的所述多個第五連接器；和

第三線圈和第四線圈，其連接所述線圈外殼的所述多個第六連接器。

8.根據權利要求7所述的方法，其還包括校準所述第二電容電路的電容值。

9.根據權利要求1所述的方法，其中，所述線圈外殼的所述多個第三連接器使得能相對于所述接線盒的所述多個第二連接器移動。

10.根據權利要求8所述的方法，其中：

所述第一線圈和所述第二線圈沿相反方向相互盤繞；

所述第三線圈和所述第四線圈沿相反方向相互盤繞；以及

所述第一線圈和所述第二線圈布置在所述第三線圈和所述第四線圈的內側或外側。

11.根據權利要求5所述的方法，其中所述第一直驅電路包括：

時鐘發生器，其以所述第一頻率產生時鐘信號；

柵極驅動器，其連接所述時鐘發生器的輸出；

DC電源；和

半橋，其連接所述柵極驅動器和所述DC電源。

12.一種用于向襯底處理系統提供RF功率的直驅系統，其包括：

直驅外殼，其包括：

第一直驅電路，其位于所述直驅外殼中并以第一頻率運行；和

第一連接器，其連接所述第一直驅電路；

接線盒，其布置成與所述直驅外殼相鄰，并且包括：

第一電容電路，其連接所述第一直驅電路；

第一連接器，其位于所述接線盒的一側，與所述第一電容電路的一端子連接，并與所述直驅外殼的所述第一連接器配合；

第二和第三連接器，其連接所述第一電容電路的另一端子；以及鄰近所述接線盒布置的線圈外殼，其包括：

第一線圈和第二線圈；以及

第一和第二連接器，其與所述接線盒的所述第二和第三連接器配合。

13.根據權利要求12所述的直驅系統，其中，所述線圈外殼的所述第一和第二連接器以及所述接線盒的所述第二和第三連接器使得所述第一線圈和第二線圈能移動。