[發明專利]固態二次電池的制造裝置及固態二次電池的制造方法

在審

• 申請號: 202080031402.1
• 申請日: 2020-04-16
• 公開（公告）號: CN113728481A
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發明（設計）人: 栗城和貴;田島亮太;米田祐美子;山崎舜平
• 申請（專利權）人: 株式會社半導體能源研究所
• 主分類號: H01M10/0562
• 分類號: H01M10/0562;H01M10/0585
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 申發振

1.一種固態二次電池的制造裝置，包括：

掩模對準室；

與所述掩模對準室相連的第一傳送室；

與所述第一傳送室相連的第二傳送室；

與所述第二傳送室相連的第一成膜室；

與所述第一傳送室相連的第三傳送室；以及

與所述第三傳送室相連的第二成膜室，

其中，所述第一成膜室具有通過濺射法形成正極活性物質層或負極活性物質層的功能，

所述第二成膜室具有進行鋰的有機配合物與SiO_X(0X≤2)的共蒸鍍來形成固體電解質層的功能，

并且，從所述掩模對準室到所述第一成膜室以及從所述掩模對準室到所述第二成膜室在不暴露于大氣的狀態下將襯底傳送。

2.根據權利要求1所述的固態二次電池的制造裝置，還包括與所述第二傳送室相連的加熱室。

3.根據權利要求1或2所述的固態二次電池的制造裝置，

其中所述鋰的有機配合物為8-羥基喹啉-鋰。

4.一種固態二次電池的制造方法，包括如下步驟：

以與絕緣表面上接觸的方式形成第一導電層；

在所述第一導電層上形成負極活性物質層；

在所述負極活性物質層上進行鋰的有機配合物與SiO_Ⅹ(0Ⅹ≤2)的共蒸鍍來形成固體電解質層；

在所述固體電解質層上形成第一正極活性物質層；

以與所述絕緣表面上接觸的方式在所述第一正極活性物質層上形成第二導電層；以及

在所述第二導電層上形成第二正極活性物質層，

其中，所述固體電解質層與所述負極活性物質層的側面接觸，

所述第二導電層與所述固體電解質層的部分側面接觸，

并且，所述第一正極活性物質層和所述第二正極活性物質層不重疊。

5.根據權利要求4所述的固態二次電池的制造方法，

其中所述鋰的有機配合物為8-羥基喹啉-鋰。

6.根據權利要求4或5所述的固態二次電池的制造方法，

其中將同一濺射靶材用于所述第一正極活性物質層和所述第二正極活性物質層。

7.根據權利要求4至6中任一項所述的固態二次電池的制造方法，其中將同一濺射靶材用于所述第一導電層和所述第二導電層。