[發明專利]壓力傳感器

在審

• 申請號: 202080019007.1
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN113574356A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 小林正典;海野健
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦;梁策

本發明的壓力傳感器防止使管座和檢測電路絕緣的絕緣膜的膜剝落或裂紋的問題。壓力傳感器具有：管座，其具有平面狀的外底面、沿相對于所述外底面交叉的方向延伸的外側面、以及為所述外底面的相反面并且受到來自作為測定對象的流體的壓力的受壓內面；以及檢測電路，其相對于所述外底面隔著絕緣膜設置，所述管座具有：平緩部，以包圍所述外底面的方式形成，從平行于所述外底面的方向觀察，由朝向與所述外底面及所述外側面不同的方向的面構成，并且連接所述外底面和所述外側面，所述絕緣膜覆蓋所述平緩部的至少一部分。

技術領域

本發明涉及在管座(steam)的外底面隔著絕緣膜設置檢測電路的壓力傳感器。

背景技術

作為壓力傳感器，已知有在由金屬等形成的管座的外底面隔著絕緣膜設置檢測電路的壓力傳感器。作為檢測電路，例如有利用壓阻效應(也稱為壓電阻效應)，根據電阻變化檢測管座的底壁部(也稱為膜或隔膜)的應變的電路。在這種壓力傳感器中，絕緣膜通過確保管座和檢測電路之間的絕緣性，實現檢測電路的適當的壓力檢測。

但是，這種壓力傳感器的絕緣膜形成于由壓力而產生變形的管座的底壁部，還由于測定對象的流體而暴露在高溫環境下，因此，存在產生膜剝落或裂紋等的問題。產生于絕緣膜的膜剝落或裂紋有可能導致壓力傳感器的性能降低及耐久壽命的降低，因此成為問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平5－13782號公報

發明內容

發明所要解決的問題

本發明是鑒于這種實際情況而做出的，并且提供一種壓力傳感器，其防止使管座和檢測電路絕緣的絕緣膜的膜剝落或裂紋的問題。

用于解決問題的技術方案

為了實現上述目的，本發明所涉及的壓力傳感器具有：

管座，其具有平面狀的外底面、沿相對于所述外底面交叉的方向延伸的外側面、以及為所述外底面的相反面并且受到來自作為測定對象的流體的壓力的受壓內面；以及

檢測電路，其相對于所述外底面隔著絕緣膜設置，

所述管座具有：平緩部，其以包圍所述外底面的方式形成，從垂直于所述外底面的方向觀察，由朝向與所述外底面及所述外側面不同的方向的面構成，并且連接所述外底面和所述外側面，

所述絕緣膜覆蓋所述平緩部的至少一部分。

在本發明所涉及的壓力傳感器中，在絕緣膜緊貼的管座的表面形成有平緩部。在現有的管座，外底面和外側面大致垂直地連接，因此，可認為在絕緣膜，在覆蓋該部分的部分及其周邊產生應力集中，成為膜剝落或裂紋的起點。與之相對，在本發明所涉及的壓力傳感器的管座，不是將外底面和外側面直接連接，而是將外底面和外側面經由平緩部連接。因此，通過平緩部的存在緩和外底面和外側面之間的急劇的面的方向的變化，降低在覆蓋管座的表面的絕緣膜的應力集中，本發明所涉及的壓力傳感器能夠防止絕緣膜的膜剝落或裂紋等的產生。

另外，例如，也可以是，從垂直于所述外底面的方向觀察，從作為所述外底面和所述平緩部的邊界的第一邊界到作為所述平緩部和所述外側面的邊界的第二邊界的長度為10μm以上1mm以下。

通過將平緩部的長度設為10μm以上，能夠更有效地降低在覆蓋平緩部及其周邊的絕緣膜的應力集中，因此，具有這種平緩部的壓力傳感器獲得耐久性及可靠性的進一步的改善效果。另外，通過將平緩部的長度設為1mm以下，有助于壓力傳感器的小型化。

另外，例如，也可以是，所述平緩部以包圍所述外底面的方式形成，并且在正交于所述外底面的截面觀察，具有相對于所述外底面形成30度～60度的角度的傾斜面。