[發明專利]基于電活性材料的致動器設備

在審

• 申請號: 202080018052.5
• 申請日: 2020-01-17
• 公開（公告）號: CN113519070A
• 公開（公告）日: 2021-10-19
• 發明（設計）人: E·G·M·佩爾塞斯;M·T·約翰遜;D·A·范登恩德;A·R·希爾格斯
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: H01L41/08
• 分類號: H01L41/08;H01L41/193
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 劉兆君

1.一種致動器設備，包括：

離子電活性材料致動器單元(50)，其包括整體膜(52)，其中，第一致動電極(54)和第二致動電極(56)在所述整體膜上以用于接收DC驅動信號，從而引起從所述整體膜(52)的一個部分朝向所述整體膜(52)的另一部分的電荷遷移；以及

測量電極對(64、66；54a、54b)，其在所述整體膜的第一表面上以用于測量所述整體膜的在所述測量電極之間的阻抗，所述阻抗表示所述致動器設備的致動水平，其中，所述測量電極以一間距(d)被間隔開，所述間距小于在所述測量電極(64、66；54a、54b)之間的位置處的所述整體膜(52)的厚度(h)的10倍。

2.如權利要求1所述的致動器，其中，所述間距(d)小于在所述測量電極(64、66；54a、54b)之間的位置處的所述整體膜(52)的厚度(h)的5倍，優選小于所述厚度的2倍，優選小于所述厚度的1倍。

3.如權利要求1或2所述的致動器，其中，所述第一致動電極(54)和所述第二致動電極(56)分別在所述整體膜(52)的相對的第一表面和第二表面上。

4.如權利要求1至3中的任一項所述的致動器設備，其中，所述致動器設備包括：

DC信號源(58)，其用于在所述致動電極(54、56)之間施加所述DC驅動信號；

測量信號源(60)，其用于將測量信號施加到所述測量電極對(64、66；54a、54b)；以及

測量設備(62)，其用于測量根據所述測量信號得到的電參數。

5.如權利要求4所述的致動器設備，其中，所述測量信號源(60)被耦合到所述測量電極對(64、66；54a、54b)，并且所述DC信號源(58)被耦合到所述第一致動電極(54)和所述第二致動電極(56)。

6.根據權利要求4所述的致動器設備，其中：

所述測量電極(64、66)被提供在被形成在所述第一致動電極(54)中的通道(100)中，由此與所述第一致動電極電隔離；或者

所述測量電極(64、66)被提供在被形成在所述第一致動電極(54)的物理分離的第一部分和第二部分之間的分離的通道(90)中，由此與所述第一部分和所述第二部分電隔離；或者

所述測量電極(64、66)被提供在被形成在所述第一致動電極(54)與所述第二致動電極(56)之間的分離的通道(90)中。

7.如權利要求6所述的致動器設備，其中，所述測量電極包括所述第一致動電極(54)的分離的第一部分(54a)和第二部分(54b)。

8.根據權利要求7所述的致動器設備，其中：

分離的所述第一部分(54a)和所述第二部分(54b)一起形成互鎖梳狀結構；或者

所述測量電極包括所述第一致動電極(54)的電連接的第一部分的第一集合以及所述第一致動電極(54)的電連接的第二部分的第二集合，其中，所述第一集合與第二集合是交錯的。

9.如權利要求7或8所述的致動器設備，其中，所述測量信號源(60)被耦合到所述測量電極對(54a、54b)，并且所述DC信號源(58)被耦合到所述第一致動電極(54)的所述第一部分(54a)以及所述第二致動電極(56)。

10.如權利要求1至9中的任一項所述的致動器設備，其中，所述致動器設備包括多個測量電極對。

11.如權利要求1至10中的任一項所述的致動器設備，其中，所述致動器設備還包括控制器(88)，所述控制器用于基于所測量的電參數來控制所述致動器單元。