[發明專利]物體定位器裝置及裝置制造方法

在審

• 申請號: 202080017999.4
• 申請日: 2020-01-28
• 公開（公告）號: CN113544587A
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: M·斯科爾特斯;J·R·貝耶杰;J·H·E·A·姆吉德爾曼;J·H·A·范德里杰特
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 趙林琳

1.一種物體定位器裝置，其包括：

-平臺，所述平臺被配置為將物體定位在定位平面中，

-底架，

-框架支腳，所述框架支腳被配置為在支撐表面上支撐所述底架，

-平臺支撐件，所述平臺支撐件包括：

-平臺支撐件主體，

-第一連接器，所述第一連接器將所述平臺與所述平臺支撐件主體在垂直于所述定位平面的方向上彼此連接，

-平臺支腳，所述平臺支腳被配置為在所述支撐表面上支撐所述平臺支撐件主體。

-其中，所述平臺支撐件還包括第二連接器，所述第二連接器將所述平臺支撐件主體與所述底架彼此連接。

2.根據權利要求1所述的物體定位器裝置，

其中所述框架支腳具有在垂直于所述定位平面的方向上的框架支腳剛度，并且

所述平臺支腳具有在垂直于所述定位平面的方向上的平臺支腳剛度，所述平臺支腳剛度等于或大于所述框架支腳剛度。

3.根據權利要求1或2所述的物體定位器裝置，

其中所述第二連接器具有在垂直于所述定位平面的方向上的剛度，所述剛度低于在垂直于所述定位平面的方向上的所述平臺支腳剛度。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的物體定位器裝置，

其中所述第二連接器具有在垂直于所述定位平面的方向上的剛度以及在平行于所述定位平面的方向上的剛度，其中，所述第二連接器在平行于所述定位平面的方向上的剛度高于所述第二連接器在垂直于所述定位平面的方向上的剛度。

5.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述第一連接器是振動隔離器和/或氣墊式避震器和/或空氣軸承，或者所述第一連接器包括振動隔離器和/或氣墊式避震器和/或空氣軸承。

6.根據權利要求1至5中任意一項所述的物體定位器裝置，

其中所述第二連接器包括柔順元件和預張緊器，其中所述柔順元件在垂直于所述定位平面的方向上的剛度高于所述預張緊器在垂直于所述定位平面的方向上的剛度，并且其中所述預張緊器承載所述底架的部分重量。

7.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述物體定位器裝置包括至少三個框架支腳和至少兩個平臺支撐件。

8.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述平臺被配置為在x方向上以及在垂直于所述x方向的y方向上定位物體，所述x方向和所述y方向二者均在所述定位平面中延伸，以及

其中所述物體定位器裝置包括至少兩個平臺支撐件，所述至少兩個平臺支撐件被布置在平臺支撐平面中，所述平臺支撐平面垂直于所述定位平面并且平行于所述x方向或所述y方向中任一者延伸。

9.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述平臺被配置為在x方向上以及在垂直于所述x方向的y方向上定位物體，所述x方向和所述y方向二者均在所述定位平面中延伸，以及

其中所述底架在所述y方向上比在所述x方向上更長，并且

其中所述物體定位器裝置包括至少兩個平臺支撐件，所述至少兩個平臺支撐件被布置在平臺支撐平面中，所述平臺支撐平面垂直于所述定位平面并且平行于所述x方向延伸。

10.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述平臺支腳被布置為鄰近所述框架支腳，例如其中在平行于所述定位平面的方向上，在所述平臺支腳與所述框架支腳之間的距離為60厘米或更小。

11.根據前述權利要求中任一項所述的物體定位器裝置，

其中所述底架包括柔順側和剛性側，其中所述柔順側與所述剛性側相對布置，并且其中所述平臺支腳被布置在所述底架的所述柔順側處。