[發明專利]蒸鍍掩模缺陷原因確定系統、蒸鍍掩模缺陷原因確定方法及程序在審
| 申請號： | 202080017784.2 | 申請日： | 2020-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN113498441A | 公開（公告）日： | 2021-10-12 |
| 發明（設計）人： | 山田清治;柴田泰充;藤戶大生 | 申請（專利權）人： | 凸版印刷株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸鍍掩模 缺陷 原因 確定 系統 方法 程序 | ||
1.一種蒸鍍掩模缺陷原因確定系統，對具有形成有多個孔的基材的蒸鍍掩模的缺陷原因進行確定，具備：
圖像取得部，取得上述蒸鍍掩模的攝像圖像，該攝像圖像包括對包含正常孔部分和不良孔部分的上述多個孔進行攝像而得的多個孔部分、以及對上述多個孔周圍的上述基材進行攝像而得的基材部分；
第1面積計算部，計算由上述圖像取得部取得的上述攝像圖像中的上述正?？撞糠值拿娣e；
第2面積計算部，計算由上述圖像取得部取得的上述攝像圖像中的上述不良孔部分的面積；
面積比率計算部，計算上述不良孔部分的面積相對于上述正?？撞糠值拿娣e的比例即面積比率；以及
缺陷原因確定部，確定上述不良孔部分的原因，
上述缺陷原因確定部為，
在上述面積比率為1以上的情況下，確定上述不良孔部分的原因為第1原因或者第2原因，
在上述面積比率低于1的情況下，確定上述不良孔部分的原因為并非上述第1原因及上述第2原因中的任一方的原因。
2.如權利要求1所述的蒸鍍掩模缺陷原因確定系統，其中，還具備：
徑向尺寸計算部，計算由上述圖像取得部取得的上述攝像圖像中的、從上述不良孔部分的重心位置起到上述不良孔部分與上述不良孔部分周圍的上述基材部分的邊界部分為止的長度即徑向尺寸；以及
對稱性判定部，基于由上述徑向尺寸計算部計算出的上述徑向尺寸，判定上述不良孔部分的形狀的對稱性，
上述徑向尺寸計算部計算以上述重心位置為中心的間隔45°的8個方向的上述徑向尺寸。
3.如權利要求2所述的蒸鍍掩模缺陷原因確定系統，其中，
上述缺陷原因確定部為，
在上述面積比率為1以上的情況、且是由上述對稱性判定部判定為上述攝像圖像中的上述正常孔部分的形狀具有對稱性且上述不良孔部分的形狀不具有對稱性的情況下，確定上述不良孔部分的原因為上述第1原因，
在上述面積比率為1以上的情況、且是由上述對稱性判定部判定為上述攝像圖像中的上述正常孔部分的形狀具有對稱性且上述不良孔部分的形狀具有對稱性的情況下，確定上述不良孔部分的原因為與上述第1原因不同的上述第2原因，
在上述面積比率低于1的情況、且是由上述對稱性判定部判定為上述攝像圖像中的上述正常孔部分的形狀具有對稱性且上述不良孔部分的形狀不具有對稱性的情況下，確定上述不良孔部分的原因為并非上述第1原因及上述第2原因中的任一方的第3原因，
在上述面積比率低于1的情況、且是由上述對稱性判定部判定為上述攝像圖像中的上述正常孔部分的形狀具有對稱性且上述不良孔部分的形狀具有對稱性的情況下，確定上述不良孔部分的原因為并非上述第1原因、上述第2原因及上述第3原因中的任一方的第4原因。
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