[發明專利]彈性波裝置

在審

• 申請號: 202080013740.2
• 申請日: 2020-02-18
• 公開（公告）號: CN113454911A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 瀧川和大
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉慧群

提供一種能夠有效地抑制橫模的彈性波裝置。彈性波裝置(1)具備具有晶軸(Z)的壓電性基板(2)(壓電體層)和設置在壓電性基板(2)上的IDT電極(3)。在將彈性波傳播方向設為第1方向(d1)，并將與第1方向(d1)正交的方向設為第2方向(d2)時，壓電性基板(2)的晶軸(Z)相對于厚度方向而向第2方向(d2)傾斜。IDT電極(3)具有彼此相互交錯對插的多個第1電極指(6)和多個第2電極指。第1電極指(6)和第2電極指在第1方向(d1)上相互重疊的部分為交叉區域(A)。交叉區域(A)具有位于第2方向(d2)上的中央側的中央區域(B)、和配置在中央區域(B)的第2方向(d2)兩側且與中央區域(B)中的聲速相比聲速低的第1、第2低聲速區域。第1低聲速區域的結構和第2低聲速區域的結構為非對稱。

技術領域

本發明涉及彈性波裝置。

背景技術

以往，彈性波裝置被廣泛使用于便攜式電話機的濾波器等。在下述的專利文獻1，公開了利用活塞模式的彈性波裝置的一例。該彈性波裝置具有聲速低的邊緣區域。更詳細地，在IDT電極(Inter Digital Transducer，叉指換能器)的相鄰的電極指在彈性波傳播方向上相互重疊的區域內，邊緣區域位于電極指的延伸方向兩端。通過拓寬該邊緣區域中的電極指的寬度，或者在邊緣區域中在電極指上設置質量附加用的電介質膜等，從而邊緣區域的聲速被降低。由此，可實現橫模紋波的抑制。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2012-186808號公報

發明內容

發明要解決的課題

作為彈性波裝置的壓電基板，存在使用晶軸相對于厚度方向傾斜的壓電基板的情況。在晶軸相對于壓電基板的厚度方向而向電極指的延伸方向傾斜的情況下，電極指的延伸方向上的位移分布成為非對稱。像這樣在位移分布為非對稱的情況下，在利用活塞模式的以往的彈性波裝置中，難以充分地抑制橫模。

本發明的目的在于，提供一種能夠有效地抑制橫模的彈性波裝置。

用于解決課題的手段

本發明涉及的彈性波裝置具備具有晶軸的壓電體層和設置在所述壓電體層上的IDT電極，在將彈性波傳播方向設為第1方向，并將與所述第1方向正交的方向設為第2方向時，所述壓電體層的所述晶軸相對于所述壓電體層的厚度方向而向所述第2方向傾斜，所述IDT電極具有相互對置的第1匯流條以及第2匯流條、一端與所述第1匯流條連接的多個第1電極指、和一端與所述第2匯流條連接且與所述多個第1電極指相互交錯對插的多個第2電極指，所述第1電極指和所述第2電極指在所述第1方向上相互重疊的部分為交叉區域，所述交叉區域具有位于所述第2方向上的中央側的中央區域、配置在所述中央區域的所述第1匯流條側且與所述中央區域中的聲速相比聲速低的第1低聲速區域、和配置在所述中央區域的所述第2匯流條側且與所述中央區域中的聲速相比聲速低的第2低聲速區域，所述第1低聲速區域的結構和所述第2低聲速區域的結構為非對稱。

發明效果

根據本發明涉及的彈性波裝置，能夠有效地抑制橫模。

附圖說明

圖1是本發明的第1實施方式涉及的彈性波裝置的俯視圖。

圖2是沿著圖1中的I-I線的剖視圖。

圖3是示出本發明的第1實施方式以及比較例的阻抗頻率特性的圖。

圖4是示出本發明的第1實施方式以及比較例的回波損耗的圖。

圖5是圖4的放大圖。

圖6是本發明的第1實施方式的第1變形例涉及的彈性波裝置的俯視圖。

圖7是示出本發明的第1實施方式的第2變形例中的IDT電極的一對電極指附近的俯視圖。