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[發明專利]多晶硅塊狀物、其包裝體及其制造方法在審

專利信息
申請號: 202080010371.1 申請日: 2020-01-21
公開(公告)號: CN113348149A 公開(公告)日: 2021-09-03
發明(設計)人: 崎田學 申請(專利權)人: 株式會社德山
主分類號: C01B33/02 分類號: C01B33/02;C01B33/035;B65D81/18
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 呂琳;樸秀玉
地址: 日本山口*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 塊狀 包裝 及其 制造 方法
【權利要求書】:

1.一種多晶硅塊狀物包裝體,其特征在于,

所述多晶硅塊狀物包裝體是表面金屬濃度為1000pptw以下的多晶硅塊狀物填充于樹脂袋中的包裝體,存在于所述包裝體內部的硝酸根離子量為相對于將包裝體放置在25℃、1大氣壓下時所形成的多晶硅塊狀物的填充空隙成為50μg/L以下的量。

2.根據權利要求1所述的多晶硅塊狀物包裝體,其中,

存在于包裝體內部的氟離子量為相對于將包裝體放置在25℃、1大氣壓下時所形成的多晶硅塊狀物的填充空隙成為50μg/L以下的量。

3.根據權利要求1所述的多晶硅塊狀物包裝體,其是將表面金屬濃度為1000pptw以下、且表面硝酸根離子量為1.0×10-4μg/mm2以下的多晶硅塊狀物填充于樹脂袋中而成的。

4.根據權利要求3所述的多晶硅塊狀物包裝體,其中,

存在于多晶硅塊狀物的塊表面的氟離子量為1.0×10-4μg/mm2以下。

5.根據權利要求1~4中任一項所述的多晶硅塊狀物包裝體,其中,

填充有多晶硅塊狀物的樹脂袋的填充空隙率為40%~70%。

6.一種多晶硅塊狀物,其表面金屬濃度為1000pptw以下,且表面硝酸根離子量為1.0×10-4μg/mm2以下。

7.根據權利要求6所述的多晶硅塊狀物,其中,

進一步地,表面氟離子量為1.0×10-4μg/mm2以下。

8.一種多晶硅塊狀物的制造方法,其特征在于,

所述制造方法是制造權利要求6所述的多晶硅塊狀物的方法,

其中,將利用氫氟酸硝酸水溶液進行了酸洗的多晶硅塊狀物清洗體在100℃以上的加熱溫度下干燥。

9.一種多晶硅塊狀物包裝體的制造方法,其特征在于,

所述制造方法是制造權利要求1所述的多晶硅塊狀物包裝體的方法,

其中,在將由權利要求8所述的方法得到的多晶硅塊狀物包裝于樹脂袋中時,以存在于包裝體內部的硝酸根離子量相對于將包裝體放置在25℃、1大氣壓下時所形成的多晶硅塊狀物的填充空隙成為50μg/L以下的填充量填塞。

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