[發明專利]液滴噴出裝置和液滴噴出方法

有效

• 申請號: 202080002905.6
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN112236238B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 村田和広
• 申請（專利權）人: SIJ技術株式會社
• 主分類號: B05C9/06
• 分類號: B05C9/06;B05D1/26;B05D1/36;B05C5/00;B41J2/01
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 梁志文

1.一種液滴噴出裝置，其特征在于，包括：

第一液滴噴出部，包括用于保持表面帶電除去處理用的第一液體的第一液體保持部和用于將該第一液體保持部的第一液體作為第一液滴噴出的第一前端部；

第二液滴噴出部，包括用于保持圖案形成用的第二液體的第二液體保持部和用于將該第二液體保持部的第二液體作為與第一液滴不同的第二液滴噴出的第二前端部；

對象物保持部，用于保持對象物，所述對象物上能夠被噴所述第一液體和所述第二液體；以及

驅動部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相對于所述對象物保持部在第一方向上相對移動，

所述第一前端部相對于所述第二前端部配置在所述第一方向的前方；

所述第一液滴噴出部具有壓電型噴嘴頭，

所述第二液滴噴出部具有靜電噴出型噴嘴頭。

2.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

所述第一液滴噴出部在與所述第一液滴噴出部移動的方向交叉的方向上設置有多個。

3.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

所述第一液滴噴出部在與所述第一液滴噴出部移動的方向交叉的方向上延伸。

4.根據權利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

所述第二液滴噴出部在與所述第一液滴噴出部移動的方向交叉的方向上設置有多個。

5.根據權利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，

所述第一液滴噴出部的所述第一前端部的內徑大于所述第二液滴噴出部的所述第二前端部的內徑。

6.一種液滴噴出方法，其特征在于，所述方法包括：

從具有壓電型噴嘴頭的第一液滴噴出部向對象物的第一區域噴出表面帶電去除處理用的第一液滴，

從與第一液滴噴出部不同的具有靜電噴出型噴嘴頭的第二液滴噴出部向所述第一區域噴出粘度比所述第一液滴高的圖案形成用的第二液滴，

以與從第二液滴噴出部噴出所述第二液滴同步的方式從所述第一液滴噴出部向與所述第一區域不同的第二區域噴出所述第一液滴。

7.根據權利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于，

所述第二液滴在滿足規定的條件時噴出。

8.根據權利要求7所述的液滴噴出方法，其特征在于，

所述規定的條件包括向所述第一區域噴出所述第一液滴后的經過時間或所述第一液滴的厚度的信息。

9.根據權利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于，

噴出所述第一液滴的區域比由所述第二液滴形成的圖案尺寸大。

10.根據權利要求9所述的液滴噴出方法，其特征在于，

由所述第二液滴形成的圖案尺寸為100nm以上500μm以下。

11.根據權利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于，

所述第一液滴具有揮發性。

12.根據權利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于，

所述第一液滴的表面電阻值為10⁶Ω/sq以上10¹¹Ω/sq以下。