[實用新型]一種硅棒清洗液配制系統

有效

• 申請號: 202023352754.3
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214319791U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 羅利明;林則徐;冀亭亭;特古斯
• 申請（專利權）人: 呼和浩特市歐通能源科技有限公司
• 主分類號: B01F3/08
• 分類號: B01F3/08;B01F15/04
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 劉永珍

本實用新型公開了一種硅棒清洗液配制系統，包括水罐、試劑罐和第一工藝槽；水罐的出水口輸水管道和混合管道的進水端連通，混合管道的出水端與第一工藝槽的進水口連通；試劑罐的出液口通過管道與混合管道的進水端連通；在水罐的出水口處相鄰設有出水閥和水流量計，在試劑罐的出液口處相鄰設有出液閥和試劑流量計。優點在于：1、可實現自動精準配液，自動對工藝槽進行補液；2、無需額外配置配液槽；3、洗液只經過混合管道，不會對輸水管道造成腐蝕；4、混合管道內設置的螺旋葉片可使水和試劑在較短的時間內充分混合均勻。

技術領域：

本實用新型涉及一種配制系統，尤其涉及一種硅棒清洗液配制系統。

背景技術：

由單晶爐生產的硅棒表面會存在大量的污漬，不僅搬運過程中影響工作環境，也會對后續加工工藝產生影響，所以，通常會利用洗液對硅棒表面進行清洗。洗液一般都是由試劑和水配制而成的，由人工按照一定的比例在配液槽內配制好，再由泵將配制好的洗液泵至工藝槽內對硅棒進行清洗。由于洗液中水的用量較大、占比也較大，導致配液槽的體積較大，占地面積大；又由于洗液一般呈酸性或堿性，配制好的洗液在輸送至工藝槽的過程中會對輸送管道及泵體造成腐蝕，影響輸送管道及泵體的使用壽命；而且，人工配制的過程中會存在誤差，影響試劑與水的配制比例，進而會影響對硅棒的清洗效果；此外，由于洗液的用量較大，每天至少需要配制兩次洗液，增加了工作量。

實用新型內容：

本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、易于實現的硅棒清洗液配制系統。

本實用新型由如下技術方案實施：

一種硅棒清洗液配制系統，包括水罐、試劑罐和第一工藝槽；

所述水罐的出水口通過輸水管道和混合管道的進水端連通，所述混合管道的出水端與所述第一工藝槽的進水口連通；

所述試劑罐的出液口通過管道與所述混合管道的進水端連通；

在所述水罐的出水口處相鄰設有出水閥和水流量計，在所述試劑罐的出液口處相鄰設有出液閥和試劑流量計；

所述水流量計和所述試劑流量計的信號輸出端均與控制器的信號輸入端信號連接，所述控制器的信號輸出端分別與所述出水閥和所述出液閥的信號輸入端信號連接。

進一步的，其還包括第二工藝槽，所述混合管道的出水端與三通閥的進口連通，所述三通閥的兩個出口分別與所述第一工藝槽和所述第二工藝槽的進水口連通；

在所述第一工藝槽和所述第二工藝槽內分別設有第一液位計和第二液位計；

所述第一液位計和所述第二液位計的信號輸出端均與所述控制器的信號輸入端信號連接，所述控制器的信號輸出端與所述三通閥的信號輸入端信號連接。

進一步的，在所述混合管道的內壁固定設有螺旋葉片。

本實用新型的優點：

1、可實現自動精準配液，自動對工藝槽進行補液；2、無需額外配置配液槽；3、洗液只經過長度較短的混合管道，不會對長度較長的輸水管道造成腐蝕；4、混合管道內設置的螺旋葉片可使水和試劑在較短的時間內充分混合均勻。

附圖說明：

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實施例的結構示意圖；

圖中：水罐1、三通閥2、試劑罐3、第一工藝槽4、第二工藝槽5、輸水管道6、混合管道7、水流量計8、試劑流量計9、第一液位計10、第二液位計11、控制器12、出水閥13、出液閥14。

具體實施方式：