[實(shí)用新型]電纜導(dǎo)體制作設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023351624.8
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN213583255U
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何夢林;李皓
• 申請（專利權(quán)）人: 中科晶益(東莞)材料科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 嚴(yán)誠

1.一種電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于，包括：

密封室(100)、放卷裝置(300)以及收卷裝置(400)；

所述放卷裝置(300)以及所述收卷裝置(400)設(shè)置在所述密封室(100)內(nèi)，所述放卷裝置(300)以及所述收卷裝置(400)之間形成反應(yīng)空間；

所述收卷裝置(400)用于通過所述反應(yīng)空間收卷卷繞在所述放卷裝置(300)上的金屬芯；所述反應(yīng)空間用于供所述金屬芯進(jìn)行反應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述電纜導(dǎo)體制作設(shè)備還包括依次間隔設(shè)置在所述反應(yīng)空間的第一隔板(200)、第二隔板(210)以及第三隔板(220)；

所述第一隔板(200)與所述第二隔板(210)之間形成高溫退火腔(230)，所述高溫退火腔(230)用于供所述金屬芯進(jìn)行高溫退火，以形成單晶金屬芯；

所述第二隔板(210)與所述第三隔板(220)之間形成二維材料覆膜腔(240)，所述二維材料覆膜腔(240)用于供所述單晶金屬芯的表面反應(yīng)生成單晶二維材料膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述電纜導(dǎo)體制作設(shè)備還包括惰性氣體管道系統(tǒng)(500)，所述惰性氣體管道系統(tǒng)(500)與所述高溫退火腔(230)連通，以向所述高溫退火腔(230)輸送惰性氣體。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述二維材料覆膜腔(240)為CVD反應(yīng)腔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述電纜導(dǎo)體制作設(shè)備還包括CVD反應(yīng)氣體管道系統(tǒng)(600)，所述CVD反應(yīng)氣體管道系統(tǒng)(600)與所述二維材料覆膜腔(240)連通，以向所述二維材料覆膜腔(240)輸送CVD反應(yīng)氣體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述放卷裝置(300)包括可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述密封室(100)內(nèi)的放卷輪，所述收卷裝置(400)包括可轉(zhuǎn)動地設(shè)置在所述密封室(100)內(nèi)的收卷輪；所述放卷輪與所述收卷輪同步轉(zhuǎn)動。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-5任一項(xiàng)所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述第一隔板(200)設(shè)置有第一缺口(201)，所述第二隔板(210)設(shè)置有第二缺口(211)，所述第三隔板(220)設(shè)置有第三缺口(221)，所述第一缺口(201)、所述第二缺口(211)以及所述第三缺口(221)依次對應(yīng)，以共同供所述金屬芯穿過。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述第一缺口(201)、所述第二缺口(211)以及所述第三缺口(221)的數(shù)量分別為多個，多個所述第一缺口(201)、多個所述第二缺口(211)以及多個所述第三缺口(221)一一對應(yīng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

多個所述第一缺口(201)沿所述第一隔板(200)的高度方向間隔設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電纜導(dǎo)體制作設(shè)備，其特征在于：

所述放卷裝置(300)的數(shù)量為多個，所述收卷裝置(400)的數(shù)量為多個；多個所述放卷裝置(300)與多個所述第一缺口(201)一一對應(yīng)，多個所述收卷裝置(400)與多個所述第三缺口(221)一一對應(yīng)。