[實用新型]一種掃描致動器及光纖掃描器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023349436.1 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN216356517U | 公開（公告）日： | 2022-04-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人： | 成都理想境界科技有限公司 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00;H02N2/02;H02N2/04;H02N2/06;G02B26/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 掃描 致動器 光纖 掃描器 | ||
1.一種掃描致動器，其特征在于，包括依次連接的第一致動部和第二致動部，所述的第一致動部包括基板、以及設(shè)置于基板上表面和/或下表面的壓電驅(qū)動層，以基板前后兩端分別為固定端和自由端，以基板的厚度方向為垂直方向，所述的壓電驅(qū)動層包括多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接；
所述的第二致動部包括基板、以及設(shè)置于基板左表面和/或右表面的壓電驅(qū)動層，以基板前后兩端分別為固定端和自由端，以基板的厚度方向為水平方向，所述的壓電驅(qū)動層包括多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接；
所述的第二致動部的基板的固定端與第一致動部的基板的自由端固定連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的第一致動部為慢軸致動器，第二致動部為快軸致動器，快軸致動器的振動頻率遠大于慢軸致動器的振動頻率。
3.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述第二致動部的基板上表面設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的基板下表面未設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板上表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接。
4.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述第二致動部的基板下表面設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的基板上表面未設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板下表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接。
5.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述第二致動部的基板的上表面和下表面均設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的基板的上表面設(shè)置有第一壓電驅(qū)動層，所述的第一壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板上表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，第一壓電驅(qū)動層的各第一電極均相互電性連接，第一壓電驅(qū)動層的各第二電極均相互電性連接；所述的基板的下表面設(shè)置有第二壓電驅(qū)動層，所述的第二壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板下表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，第二壓電驅(qū)動層的各第一電極均相互電性連接，第二壓電驅(qū)動層的各第二電極均相互電性連接。
6.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述第一致動部的基板左表面設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的基板右表面未設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板左表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接。
7.如權(quán)利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述第一致動部的基板右表面設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的基板左表面未設(shè)置有壓電驅(qū)動層，所述的壓電驅(qū)動層包括設(shè)置于基板右表面的多個沿前后方向依次交叉設(shè)置的第一電極和第二電極、以及設(shè)置于各相鄰第一電極和第二電極之間的壓電陶瓷單元，各壓電陶瓷單元均沿前后方向極化，且任意兩個相鄰的壓電陶瓷單元的極化方向相反，各第一電極均相互電性連接，各第二電極均相互電性連接。
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