[實用新型]開蓋機構

有效

• 申請號: 202023347846.2
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN213483731U
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 趙軼;杜振東;舒貽勝;郭劍飛;謝世敏;姚建強;黃長興;陳夏薇;宋金梁
• 申請（專利權）人: 杭州長川科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王雪莎

本實用新型提供了一種開蓋機構，涉及晶圓測試裝備技術領域，本實用新型提供的開蓋機構包括：開蓋面板、開蓋組件、傳動件和驅動件；開蓋組件包括門栓和傳動輪，門栓與開蓋面板轉動連接，傳動輪與門栓傳動連接，驅動件通過傳動件驅動傳動輪轉動；驅動件與傳動輪之間或傳動輪與門栓之間設有過載保護件，當門栓卡在開蓋面板時，過載保護件阻斷驅動件向門栓傳遞動力。本實用新型提供的開蓋機構緩解了相關技術中開蓋機構開蓋失敗時導致晶圓盒蓋損壞的技術問題。

技術領域

本實用新型涉及晶圓測試裝備技術領域，尤其是涉及一種開蓋機構。

背景技術

晶圓盒是指在半導體生產運輸中主要起儲存和輸送晶圓的作用，可以降低晶圓被污染的風險；晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形。晶圓在搬運過程中需要機械手在晶圓盒中對晶圓進行取放操作，該過程需要打開晶圓盒蓋。

傳統的開蓋機構主要有兩種，一種是采用氣缸作為動力，平面連桿機構作為傳動機構，氣缸通過平面連桿機構驅動門栓旋轉，另一種是采用氣缸作為動力，齒輪齒條作為傳動機構，氣缸驅動齒條做直線運動，門栓上的齒輪在齒條的帶動下進行旋轉。傳統的兩種開蓋機構存在一個共同的問題，當晶圓盒開蓋失敗時門栓卡在晶圓盒蓋中，氣缸繼續通過傳動機構驅動門栓旋轉，因氣缸推力過大從而會導致晶圓盒蓋損壞。

實用新型內容

本實用新型目的在于提供一種開蓋機構，以緩解相關技術中開蓋機構開蓋失敗時導致晶圓盒蓋損壞的技術問題。

本實用新型提供的開蓋機構包括：開蓋面板、開蓋組件、傳動件和驅動件；所述開蓋組件包括門栓和傳動輪，所述門栓與所述開蓋面板轉動連接，所述傳動輪與所述門栓傳動連接，所述驅動件通過所述傳動件驅動所述傳動輪轉動；

所述驅動件與所述傳動輪之間或所述傳動輪與所述門栓之間設有過載保護件，當所述門栓卡在晶圓盒蓋時，所述過載保護件阻斷所述驅動件向所述門栓傳遞動力。

進一步地，所述開蓋組件的數量為兩個，所述傳動件與兩個所述開蓋組件中的所述傳動輪傳動連接。

進一步地，所述傳動輪包括帶輪，所述傳動件包括同步帶，所述同步帶作為所述過載保護件套設于兩個所述帶輪，所述驅動件與所述同步帶傳動連接。

進一步地，所述開蓋面板上設有門栓支撐座，所述門栓分別與所述開蓋面板和所述門栓支撐座轉動連接，所述帶輪位于所述開蓋面板與所述門栓支撐座之間，并固定套設于所述門栓。

進一步地，所述驅動件包括氣缸，所述氣缸的驅動端通過固定組件與所述同步帶連接。

進一步地，所述固定組件包括底座、調節頭、第一壓板和第二壓板，所述氣缸的驅動端與所述底座連接，所述調節頭沿所述同步帶的長度方向與所述底座可調節連接，所述第一壓板與所述底座可拆卸連接，所述第二壓板與所述調節頭可拆卸連接，所述同步帶的一側位于所述第一壓板與所述底座之間和所述第二壓板與所述調節頭之間。

進一步地，所述底座設有軸線與所述同步帶的長度方向平行的調節通孔，所述調節頭設有與所述調節通孔同軸的螺紋孔，調節螺栓穿過所述調節通孔與所述螺紋孔配合。

進一步地，所述開蓋面板上設有沿所述同步帶長度方向延伸的導軌，所述底座設有與所述導軌滑動配合的滑塊。

進一步地，所述開蓋機構還包括緩沖器，所述緩沖器設于所述底座的背離氣缸的一側。

進一步地，所述緩沖器與所述開蓋面板可調節連接，以調節所述緩沖器與所述底座之間的距離。