[實用新型]用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和晶體生長設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023346386.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN215757725U
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁長路;苗江濤
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10;C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張文姣

本實用新型公開了一種用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和晶體生長設(shè)備，晶體生長設(shè)備包括坩堝，坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于驅(qū)動坩堝上下移動，坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括固定支架、滑座組件和驅(qū)動組件，滑座組件適于與坩堝相連，驅(qū)動組件包括驅(qū)動器和升降機構(gòu)，驅(qū)動器安裝在固定支架上，升降機構(gòu)與滑座組件配合，驅(qū)動器通過升降機構(gòu)驅(qū)動滑座組件上下移動，以使滑座組件適于帶動坩堝上下移動。根據(jù)本實用新型的用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，結(jié)構(gòu)緊湊、便于節(jié)省占用空間。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶體生長技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和晶體生長設(shè)備。

背景技術(shù)

目前單晶硅的主要生長技術(shù)是直拉法，在晶體生長過程中，需要保證石英坩堝的多晶硅溶液與導(dǎo)流筒保持一定的液面距離，因此需要坩堝升降，且在長晶過程中，要實現(xiàn)晶體的生長，需要實現(xiàn)坩堝的旋轉(zhuǎn)。現(xiàn)有技術(shù)中一般采用坩堝軸整體驅(qū)動安裝在機座上，從而實現(xiàn)坩堝軸的升降及旋轉(zhuǎn)，這種方式加工方式難度大，不節(jié)約空間，且操作繁瑣。

實用新型內(nèi)容

本實用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實用新型提出一種用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊、便于節(jié)省占用空間。

本實用新型還提出一種具有上述坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的晶體生長設(shè)備。

根據(jù)本實用新型第一方面的用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述晶體生長設(shè)備包括坩堝，所述坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于驅(qū)動所述坩堝上下移動，所述坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括：固定支架，所述固定支架適于與所述晶體生長設(shè)備的爐底板相連；滑座組件，所述滑座組件適于與所述坩堝相連；驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動器和升降機構(gòu)，所述驅(qū)動器安裝在所述固定支架上，所述升降機構(gòu)與所述滑座組件配合，所述驅(qū)動器通過所述升降機構(gòu)驅(qū)動所述滑座組件上下移動，以使所述滑座組件適于帶動所述坩堝上下移動。

根據(jù)本實用新型的用于晶體生長設(shè)備的坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過將用于驅(qū)動坩堝升降的驅(qū)動組件的驅(qū)動器設(shè)在固定支架上，并使得固定支架適于與爐底板相連，可以使得驅(qū)動組件更好地與晶體生長設(shè)備的爐體形成為一個整體，有利于提升晶體生長設(shè)備的整體性，同時便于實現(xiàn)驅(qū)動組件與爐體板的緊湊設(shè)置，有利于節(jié)約空間、降低成本。

在一些實施例中，所述升降機構(gòu)包括絲杠，所述絲杠與所述驅(qū)動器相連以由所述驅(qū)動器驅(qū)動轉(zhuǎn)動，所述絲杠沿上下方向延伸且和所述滑座組件螺紋配合。

在一些實施例中，所述驅(qū)動組件還包括：同步帶傳動機構(gòu)，所述同步帶傳動機構(gòu)設(shè)在所述驅(qū)動器和所述升降機構(gòu)之間，且包括主動帶輪、從動帶輪和環(huán)形傳動帶，所述主動帶輪與所述驅(qū)動器相連，所述從動帶輪與所述絲杠相連，所述環(huán)形傳動帶張緊在所述主動帶輪和所述從動帶輪上；任選地，所述主動帶輪的直徑小于所述從動帶輪的直徑。

在一些實施例中，所述滑座組件上設(shè)有導(dǎo)向機構(gòu)，所述導(dǎo)向機構(gòu)包括：導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌適于固設(shè)設(shè)在所述晶體生長設(shè)備內(nèi)的固定支架上且沿上下方向延伸；滑塊，所述滑塊設(shè)在所述滑座組件上且與所述導(dǎo)軌滑動配合。

在一些實施例中，所述滑座組件包括：坩堝軸，所述坩堝軸適于可移動地穿設(shè)于所述爐底板上，所述坩堝軸上形成有安裝法蘭，所述坩堝軸外套設(shè)有波紋管，所述波紋管密封連接在所述爐底板和所述安裝法蘭之間；任選地，所述波紋管為金屬件。

在一些實施例中，所述滑座組件包括稱重機構(gòu)，所述稱重機構(gòu)用于稱量所述滑座組件上的承載重量并輸出稱重信息；任選地，所述坩堝升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括顯示組件，所述顯示組件與所述稱重機構(gòu)相連以用于顯示所述稱重信息。

在一些實施例中，所述稱重機構(gòu)為多個且沿所述滑座組件的周向間隔布置，每個所述稱重機構(gòu)分別與所述顯示組件相連；任選地，所述稱重機構(gòu)為三個且沿所述滑座組件的周向均勻間隔布置。