[實用新型]一種掃描致動器及光纖掃描器

有效

• 申請號: 202023342624.1
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN214540232U
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 成都理想境界科技有限公司
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掃描致動器，其特征在于，包括依次連接的第一致動部和第二致動部，所述的第二致動部包括壓電陶瓷基板，以壓電陶瓷基板的前后兩端分別為固定端和自由端，以壓電陶瓷基板的厚度方向為垂直方向，所述的壓電陶瓷基板的左側和右側中至少有一側設置有驅動電極對，所述的驅動電極對包括設置于壓電陶瓷基板上表面的上電極層和設置于壓電陶瓷基板下表面的下電極層，壓電陶瓷基板位于驅動電極對之間的部分沿垂直方向極化；第一致動部的兩端分別為固定端和自由端，第一致動部的自由端相對于其固定端至少沿垂直方向振動，所述的壓電陶瓷基板的固定端與第一致動部的自由端固定連接。

2.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的第二致動部為快軸致動器，第一致動部為慢軸致動器，快軸致動器的振動頻率遠大于慢軸致動器的振動頻率。

3.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的壓電陶瓷基板的左側設置有驅動電極對，所述的壓電陶瓷基板的右側未設置驅動電極對，所述的驅動電極對包括設置于壓電陶瓷基板上表面左側的上電極層和設置于壓電陶瓷基板上表面左側的下電極層，上電極層和下電極層相對設置，通過上電極層和下電極層施加驅動電壓后，壓電陶瓷基板的左側在驅動電壓的驅動下沿水平方向伸長或縮短。

4.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的壓電陶瓷基板的右側設置有驅動電極對，所述的壓電陶瓷基板的左側未設置驅動電極對，所述的驅動電極對包括設置于壓電陶瓷基板上表面右側的上電極層和設置于壓電陶瓷基板上表面右側的下電極層，上電極層和下電極層相對設置，通過上電極層和下電極層施加驅動電壓后，壓電陶瓷基板的右側在驅動電壓的驅動下沿水平方向伸長或縮短。

5.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的壓電陶瓷基板的左側和右側均設置有驅動電極對，左側的驅動電極對包括設置于壓電陶瓷基板上表面左側的第一上電極層和設置于壓電陶瓷基板下表面左側的第一下電極層，第一上電極層和第一下電極層相對設置，通過第一上電極層和第一下電極層施加驅動電壓后，壓電陶瓷基板的左側在驅動電壓的驅動下沿水平方向伸長或縮短；

右側的驅動電極對包括設置于壓電陶瓷基板上表面右側的第二上電極層和設置于壓電陶瓷基板下表面右側的第二下電極層，上電極層和下電極層相對設置，通過上電極層和下電極層施加驅動電壓后，壓電陶瓷基板的右側在驅動電壓的驅動下沿水平方向伸長或縮短；

在同一時刻，壓電陶瓷基板的右側和左側的伸縮方向相反。

6.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的第一致動部為單壓電片致動器或雙壓電晶片致動器，

所述的單壓電片致動器包括沿前后方向延伸的基板，基板的一側設置有平行于基板的第三壓電材料片，第三壓電材料片具有兩個平行于基板的第二表面，第三壓電材料片的第二表面均布設有一層電極；

所述的雙壓電晶片致動器包括沿前后方向延伸的中部隔離片，中部隔離片的一側設置有平行于中部隔離片的第一壓電材料片，中部隔離片的另一側設置有平行于中部隔離片的第二壓電材料片，第一壓電材料片和第二壓電材料片均具有兩個平行于中部隔離片的第一表面，第一壓電材料片和第二壓電材料片的第一表面均布設有一層電極，

或所述的雙壓電晶片致動器包括緊密貼合的第一壓電材料片和第二壓電材料片，第一壓電材料片與第二壓電材料片之間設置有一層共用電極，第一壓電材料片和第二壓電材料片的表面均設置有與所述共用電極相配合的一層電極。

7.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的第一致動部為壓電材料管致動器，所述的壓電材料管致動器包括壓電材料管，壓電材料管的外表面設置有至少一對關于壓電材料管的軸心線對稱的外電極，壓電材料管的內表面設置有與所述外電極相配合的內電極。

8.如權利要求1所述的一種掃描致動器，其特征在于，所述的第一致動部為壓電材料管致動器或壓電片驅動致動器，所述的壓電片驅動致動器包括軸心方向為前后方向的基體，基體的表面沿周向間隔貼覆有至少一個沿前后方向伸縮的第一壓電片。