[實(shí)用新型]一種機(jī)械臂和機(jī)器人

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023341492.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214560989U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃志平;黃德昇;楊志堅(jiān);亓文麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泉芯集成電路制造(濟(jì)南)有限公司
• 主分類號(hào): B25J15/00
• 分類號(hào): B25J15/00;B25J19/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

1.一種機(jī)械臂，其特征在于，包括臂體和導(dǎo)向組件，在所述臂體上設(shè)置有用于承載晶圓的承載面，在所述承載面的周側(cè)設(shè)置有導(dǎo)向組件，所述導(dǎo)向組件用于引導(dǎo)所述晶圓位于所述承載面。

2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂，其特征在于，所述導(dǎo)向組件為轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述臂體，以通過(guò)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件的轉(zhuǎn)動(dòng)引導(dǎo)所述晶圓位于所述承載面。

3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械臂，其特征在于，在所述臂體上開(kāi)設(shè)有容置槽，所述承載面位于所述容置槽的底壁；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括導(dǎo)向輪以及轉(zhuǎn)軸，所述導(dǎo)向輪通過(guò)所述轉(zhuǎn)軸與所述臂體轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

4.如權(quán)利要求3所述的機(jī)械臂，其特征在于，所述容置槽相對(duì)的兩側(cè)壁之間的間距沿槽底至槽口的方向逐漸增大，所述導(dǎo)向輪位于所述容置槽的側(cè)壁。

5.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械臂，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括作用件、限位件和位于所述承載面周側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)輪；所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于所述臂體，在所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪的輪面上沿遠(yuǎn)離所述承載面的方向依次設(shè)置所述作用件和限位件。

6.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械臂，其特征在于，在所述承載面上還設(shè)置有凹槽，所述凹槽與所述作用件對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述凹槽的形狀與所述作用件的形狀匹配，用于在所述晶圓位于所述承載面時(shí)，容置所述作用件。

7.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的機(jī)械臂，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件為多個(gè)，多個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件沿所述承載面的周側(cè)均布設(shè)置。

8.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的機(jī)械臂，其特征在于，在所述承載面上還設(shè)置有信號(hào)傳感器，所述信號(hào)傳感器用于采集所述承載面上的晶圓信號(hào)。

9.如權(quán)利要求2至6任一項(xiàng)所述的機(jī)械臂，其特征在于，在所述臂體上還設(shè)置有氣體管路，所述氣體管路的出口與所述承載面對(duì)應(yīng)。

10.一種機(jī)器人，其特征在于，包括本體以及如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的機(jī)械臂，所述本體與所述機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)連接。