[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)靶材吊裝裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023319862.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214456235U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京歐美達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司
• 主分類號(hào): B66C1/62
• 分類號(hào): B66C1/62
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種旋轉(zhuǎn)靶材吊裝裝置，包括，腔蓋體；吊板；固定環(huán)板；限位環(huán)；旋轉(zhuǎn)靶材；固定板；所述旋轉(zhuǎn)靶材內(nèi)側(cè)固設(shè)有內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管延伸至所述旋轉(zhuǎn)靶材端部外側(cè)；所述內(nèi)襯管外側(cè)配置有固定環(huán)板；所述固定板內(nèi)置于所述內(nèi)襯管內(nèi)部且被配置為與內(nèi)襯管相互固定；所述固定環(huán)板位于內(nèi)襯管外部并與內(nèi)襯管外側(cè)固定連接；所述腔蓋體罩合在所述吊板、限位環(huán)和固定環(huán)板上，在吊裝裝置進(jìn)行吊裝的過(guò)程中，所述腔蓋體內(nèi)部?jī)蓚?cè)分別與所述吊板和所述固定環(huán)板抵觸和抱緊。本實(shí)用新型可以對(duì)在對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材加工過(guò)程中，一些尺寸規(guī)格較大的旋轉(zhuǎn)靶材、工人進(jìn)行搬運(yùn)較為困難的旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行有限穩(wěn)定的吊起和搬運(yùn)。

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及靶材領(lǐng)域，特別涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材吊裝裝置。

【背景技術(shù)】

濺射鍍膜工藝廣泛應(yīng)用于集成電路、磁記錄、刀具、平面顯示器以及玻璃表面涂層等領(lǐng)域，隨著表面鍍膜技術(shù)的不斷發(fā)展，濺射靶材這一具有高附加值的功能材料的需求量也逐年增多，因此需要不斷提高濺射靶材的利用效率，減少靶材的消耗，降低成本，保護(hù)環(huán)境；旋轉(zhuǎn)靶材是磁控的靶材，靶材做成圓筒型的，里面裝有靜止不動(dòng)的磁體，以慢速轉(zhuǎn)動(dòng)。

在對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材加工過(guò)程中，對(duì)于尺寸較小的旋轉(zhuǎn)靶材，可以依靠工人對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行搬運(yùn)，然后對(duì)于一些尺寸規(guī)格較大的旋轉(zhuǎn)靶材，僅僅依靠工人進(jìn)行搬運(yùn)較為困難。

為此，我們提出一種旋轉(zhuǎn)靶材吊裝裝置。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，包括，腔蓋體；吊板；固定環(huán)板；限位環(huán)；旋轉(zhuǎn)靶材；固定板；所述旋轉(zhuǎn)靶材內(nèi)側(cè)固設(shè)有內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管延伸至所述旋轉(zhuǎn)靶材端部外側(cè)；所述內(nèi)襯管外側(cè)配置有固定環(huán)板；限位環(huán)固設(shè)在固定環(huán)板外側(cè)起到限制固定環(huán)板從所述內(nèi)襯管端部脫離；所述固定板內(nèi)置于所述內(nèi)襯管內(nèi)部且被配置為與內(nèi)襯管相互固定；所述固定環(huán)板位于內(nèi)襯管外部并與內(nèi)襯管外側(cè)固定連接；所述腔蓋體罩合在所述吊板、限位環(huán)和固定環(huán)板上，在吊裝裝置進(jìn)行吊裝的過(guò)程中，所述腔蓋體內(nèi)部?jī)蓚?cè)分別與所述吊板和所述固定環(huán)板抵觸和抱緊，對(duì)在對(duì)旋轉(zhuǎn)靶材加工過(guò)程中，一些尺寸規(guī)格較大的旋轉(zhuǎn)靶材、工人進(jìn)行搬運(yùn)較為困難的旋轉(zhuǎn)靶材進(jìn)行有限穩(wěn)定的吊起和搬運(yùn)。

為達(dá)到上述目的/為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是采用下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：一種旋轉(zhuǎn)靶材吊裝裝置，包括，腔蓋體；吊板；固定環(huán)板；限位環(huán)；旋轉(zhuǎn)靶材；固定板；

所述旋轉(zhuǎn)靶材內(nèi)側(cè)固設(shè)有內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管延伸至所述旋轉(zhuǎn)靶材端部外側(cè)；

所述內(nèi)襯管外側(cè)配置有固定環(huán)板；限位環(huán)固設(shè)在固定環(huán)板外側(cè)起到限制固定環(huán)板從所述內(nèi)襯管端部脫離；

所述固定板內(nèi)置于所述內(nèi)襯管內(nèi)部且被配置為與內(nèi)襯管相互固定；所述固定環(huán)板位于內(nèi)襯管外部并與內(nèi)襯管外側(cè)固定連接；

所述腔蓋體罩合在所述吊板、限位環(huán)和固定環(huán)板上，在吊裝裝置進(jìn)行吊裝的過(guò)程中，所述腔蓋體內(nèi)部?jī)蓚?cè)分別與所述吊板和所述固定環(huán)板抵觸和抱緊。

可選地，所述內(nèi)襯管外側(cè)配置有用于卡放限位環(huán)的限位槽。

可選地，所述固定板設(shè)置有螺紋柱，所述吊板設(shè)置有與所述螺紋柱適配的螺紋孔。

可選地,所述腔蓋體數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述腔蓋體合圍而成一個(gè)整體罩合在所述吊板、限位環(huán)和固定環(huán)板上。

可選地，兩個(gè)所述腔蓋體外側(cè)均固設(shè)有連接板，所述連接板設(shè)置有螺紋通孔，兩個(gè)所述腔蓋體外側(cè)均固設(shè)有的連接板利用固定螺栓貫穿螺紋通孔實(shí)現(xiàn)固定。

可選地，所述腔蓋體內(nèi)壁兩側(cè)具有傾斜度。

可選地，所述吊板和所述固定環(huán)板與所述腔蓋體內(nèi)壁抵觸位置也設(shè)置有傾斜度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：