[實用新型]一種雙通道上下料裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023317810.X
• 申請日: 2020-12-31
• 公開（公告）號: CN215401515U
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設計）人: 朱成昊
• 申請（專利權(quán)）人: 成川科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74;B65G47/90
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11369
• 代理人: 祁云珊

本實用新型公開了一種雙通道上下料裝置，包括：上下料支架，其上開設有平行且間隔設置的上料通道及下料通道；兩組傳送機構(gòu)，所述上料通道及下料通道中均安裝有一組所述傳送機構(gòu)；其中，所述上料通道與下料通道呈水平并列布置或上下堆疊布置。根據(jù)本實用新型，其能夠獨立進行上料及下料作業(yè)，使得上料過程及下料過程能夠獨立進行，避免相互干擾導致的上料及下料效率低下。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導體加工設備領(lǐng)域，特別涉及一種雙通道上下料裝置。

背景技術(shù)

在半導體加工設備領(lǐng)域中，采用不同結(jié)構(gòu)形式的上下料裝置來實現(xiàn)物料的上料與下料是眾所周知的。在研究和實現(xiàn)物料的上料與下料的過程中，研究人員發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中的上下料裝置至少存在如下問題：

結(jié)構(gòu)復雜，占地面積大，導致上料與下料過程容易互相干擾，從而影響上料及下料效率。

有鑒于此，實有必要開發(fā)一種雙通道上下料裝置，用以解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

為了克服上述上下料裝置所存在的問題，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠獨立進行上料及下料作業(yè)的雙通道上下料裝置，其使得上料過程及下料過程能夠獨立進行，避免相互干擾導致的上料及下料效率低下。

就雙通道上下料裝置而言，本實用新型為解決上述技術(shù)問題的雙通道上下料裝置包括：

上下料支架，其上開設有平行且間隔設置的上料通道及下料通道；

兩組傳送機構(gòu)，所述上料通道及下料通道中均安裝有一組所述傳送機構(gòu)；

其中，所述上料通道與下料通道呈水平并列布置或上下堆疊布置。

可選的，所述傳送機構(gòu)包括：

安裝于所述上料通道或下料通道中的上下料支架組件，其包括底板、頂板及支撐部件，所述支撐部件支撐于所述頂板與底板之間以使得所述頂板與底板間隔設置并形成位于所述頂板與底板之間的傳動空間；以及

搬運組件，其包括搬運托盤、搬運驅(qū)動器以及設于所述傳動空間中的升降底座；

其中，所述底板上設有沿一直線方向延伸的滑行導軌，所述升降底座通過所述滑行導軌與所述底板滑動連接；所述頂板上沿著滑行導軌的延伸方向依次設置的備料工位及上下料工位；所述升降底座的動力輸出端穿過所述頂板后連接至所述搬運托盤的底部；所述升降底座在所述搬運驅(qū)動器的驅(qū)動下牽引著所述搬運托盤在所述備料工位及上下料工位之間往復滑移。

可選的，所述頂板上設有位于所述備料工位處的備料定位臺，所述備料定位臺上開設有貫穿其上下表面的頂升通孔，所述頂升通孔連通地開設有朝向所述上下料工位的進出敞口，所述搬運托盤在往復滑移的過程中通過所述進出敞口往復進出所述頂升通孔。

可選的，所述備料定位臺上遠離所述進出敞口的一端設有兩個相對設置的限位卡座。

可選的，所述限位卡座的外側(cè)邊緣一體式地形式有兩片豎直向上延伸并且相互垂直設置的限位攔板。

可選的，所述備料定位臺的頂面設有至少三個圍繞所述頂升通孔布置的定位端子。

可選的，所述頂板上設有位于所述上下料工位處的兩組上下料定位臺，兩組所述上下料定位臺關(guān)于所述搬運托盤的運動路徑對稱設置。

上述技術(shù)方案中的一個技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果：由于其能夠獨立進行上料及下料作業(yè)，使得上料過程及下料過程能夠獨立進行，避免了相互干擾導致的上料及下料效率低下。

上述技術(shù)方案中的另一個技術(shù)方案具有如下優(yōu)點或有益效果：由于其在備料工位處設置有能夠?qū)α舷溥M行定位的備料定位臺，從而使得在備料工位處進行上料備料或下料等待時可同時對料箱進行定位，提高了定位精度及效率，節(jié)省了上下料時間。

附圖說明