[實用新型]一種新型硅片邊緣拋光機

有效

• 申請號: 202023308643.2
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214322827U
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 任明元;梁春;張穩煥
• 申請（專利權）人: 蘇州博宏源機械制造有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B47/12;B24B57/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型硅片邊緣拋光機，包括機架(1)、磨頭組件(3)和旋轉臺(5)，其特征在于：所述機架(1)的底端四角均設置有支撐座(2)，所述機架(1)的內部底端設置有接液盆(4)，接液盆(4)的上端中央設置有旋轉臺(5)，旋轉臺(5)的頂端表面吸附有硅片(6)，旋轉臺(5)遠離硅片(6)的一端設置有供液接口(7)，所述機架(1)的中部遠離旋轉臺(5)的一側設置有擺臂(8)，所述機架(1)的上端設置有磨頭組件(3)，所述磨頭組件(3)包括升降電機(9)、安裝支架(10)、旋轉電機(11)、傳動軸(12)、側推氣缸(13)和磨頭(15)，所述升降電機(9)的一端螺栓連接在機架(1)的頂端表面，另一端與安裝支架(10)活動連接，所述旋轉電機(11)的設置在安裝支架(10)的內部，旋轉電機(11)的輸出端傳動連接有與其相匹配的傳動軸(12)，所述傳動軸(12)的一端貫穿安裝支架(10)與磨頭(15)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種新型硅片邊緣拋光機，其特征在于：所述機架(1)內部遠離安裝支架(10)的一側底端設置有底座(14)，所述側推氣缸(13)的底端螺栓連接在底座(14)的表面，并通過底座(14)固定安裝在機架(1)的內部，所述側推氣缸(13)的輸出端與安裝支架(10)固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種新型硅片邊緣拋光機，其特征在于：所述安裝支架(10)包括連接板(16)、滑桿(17)、固定套(18)和固定板(19)，所述滑桿(17)的一端貫穿機架(1)，且活動安裝在機架(1)的頂端位于升降電機(9)的兩側，所述滑桿(17)的底端固定安裝有固定板(19)，所述滑桿(17)表面遠離固定板(19)的一端表面活動連接有固定套(18)，所述連接板(16)的兩端與固定套(18)固定連接，所述連接板(16)通過固定套(18)固定安裝在安裝支架(10)的表面。

4.根據權利要求1所述的一種新型硅片邊緣拋光機，其特征在于：所述升降電機(9)的一端與連接板(16)固定連接，所述旋轉電機(11)通過固定板(19)活動安裝在安裝支架(10)的內部，所述傳動軸(12)的一端貫穿固定板(19)與磨頭(15)固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種新型硅片邊緣拋光機，其特征在于：所述旋轉電機(11)、傳動軸(12)和磨頭(15)同軸設置，所述磨頭(15)通過安裝支架(10)設置有機架(1)內部，且位于供液接口(7)的一側上端。