[實用新型]一種防止外延洗滌設備過壓的結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202023292261.5 | 申請日： | 2020-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN214345545U | 公開（公告）日： | 2021-10-08 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王炳官 | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/78 | 分類號： | B01D53/78;B01D53/18 |
| 代理公司： | 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相權(quán) |
| 地址： | 311201 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 防止 外延 洗滌 設備 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種防止外延洗滌設備過壓的結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括洗滌塔（3），所述的洗滌塔（3）下部設有與洗滌塔（3）相連通的排水管（9），所述的排水管（9）上設有與排水管（9）相連通的泄壓管（5），所述的排水管（9）尾端設有與排水管（9）相法蘭式連通固定的排水泵（7），所述的泄壓管（5）上設有與泄壓管（5）相法蘭式連通固定的泄壓球閥（6），所述的洗滌塔（3）上端設有與泄壓球閥（6）相電路連通的壓力表（2）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止外延洗滌設備過壓的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的洗滌塔（3）與排水管（9）間設有與排水管（9）相法蘭式管路連通的出水法蘭管（4）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止外延洗滌設備過壓的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的泄壓管（5）與排水泵（7）間設有與排水管（9）相螺紋式套接連通的排水閥（8）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防止外延洗滌設備過壓的結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的洗滌塔（3）上部設有與洗滌塔（3）相連通的進水法蘭管（1）。
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