[實用新型]MEMS麥克風

有效

• 申請號: 202023286822.0
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214315604U
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 沈宇;石正雨
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R7/18
• 代理公司: 深圳國新南方知識產權代理有限公司 44374
• 代理人: 張曾明

本實用新型提供了一種MEMS麥克風，所述MEMS麥克風包括具有背腔的基底、與所述基底間隔設置的振膜、固定于所述基底并環繞在所述振膜外周的錨定部、以及連接所述振膜和所述錨定部之間的彈性支撐件；所述錨定部繞設于所述振膜外周并與所述振膜間隔形成環繞所述振膜的間隙，所述振膜懸置于所述背腔一側且沿所述基底的軸向的正投影落入所述背腔內，所述振膜對應背腔的區域處凸設有擋板。本實用新型可以改善傳統MEMS麥克風膜片間隙在殘余應力或振動過程中縫隙擴大的問題，以降低其低頻靈敏度的損失，從而提高了MEMS麥克風的使用壽命。

【技術領域】

本實用新型涉及聲電技術領域，尤其涉及一種MEMS麥克風。

【背景技術】

MEMS麥克風的應用越來越廣泛，對麥克風的可靠性要求也越來越高。以電容式MEMS麥克風為例，該芯片包括具有背腔的基底，以及位于基底上部的振膜和背板結構，其中，振膜和背板結構形成了電容系統。外部聲壓通過背板結構的通孔引起振膜運動，該種運動將改變振膜與背板結構之間的距離，從而改變電容并最終轉化為電信號。

現有技術的壓電MEMS麥克風可分為懸臂梁式(Cantilever)麥克風和振膜式(Diaphragm)麥克風。請參考圖1至圖2，其中，對于振膜式麥克風，振膜式麥克風包括具有背腔21’的基底20’、與所述基底20’間隔設置的振膜30’、固定于所述基底20’并環繞在所述振膜30’外周的錨定部40’、以及連接所述振膜30’和所述錨定部40’之間的彈性支撐件50’，所述錨定部40’繞設于所述振膜30’外周并與所述振膜30’間隔形成環繞所述振膜30’的間隙。現有的結構在聲壓作用下，振膜振動的過程中，間隙的寬度會變大，導致氣體從間隙中間流過，而作用在振膜的氣體減小，導致其低頻靈敏度降低。此外，現有的結構在膜片存在殘余應力時，應力釋放后會造成振膜與平面形成一個高度差，間隙的寬度變大，導致較低的低頻靈敏度。

【實用新型內容】

本實用新型的目的在于提供了一種防止因間隙變大導致振膜靈敏度降低的MEMS麥克風。

為達到上述目的，本實用新型提供了一種MEMS麥克風，所述MEMS麥克風包括具有背腔的基底、與所述基底間隔設置的振膜、固定于所述基底并環繞在所述振膜外周的錨定部、以及連接所述振膜和所述錨定部之間的彈性支撐件；所述錨定部繞設于所述振膜外周并與所述振膜間隔形成環繞所述振膜的間隙，所述振膜懸置于所述背腔一側且沿所述基底的軸向的正投影落入所述背腔內，所述振膜對應背腔的區域處凸設有擋板。

優選的，多個所述彈性支撐件對稱設置于所述振膜外周。

優選的，所述擋板沿所述振膜周緣延伸且位于相鄰兩所述彈性支撐件之間。

優選的，各所述擋板沿所述振膜的周緣對稱且間隔設置。

優選的，單個所述擋板沿所述軸向形成有凹槽。

優選的，所述擋板沿所述間隙的寬度方向的尺寸小于所述擋板沿所述軸向的長度尺寸。

優選的，所述振膜沿振動方向包括依次層疊的第一電極片、壓電膜片和第二電極片，所述第一電極片設置于所述振膜靠近所述背腔的一側。

優選的，所述擋板設置于所述第一電極片遠離所述壓電膜片的一側；和/或，所述擋板設置于所述第二電極片遠離所述壓電膜片的一側。

本實用新型的有益效果在于：提供了一種MEMS麥克風，所述MEMS麥克風包括具有背腔的基底、與所述基底間隔設置的振膜、固定于所述基底并環繞在所述振膜外周的錨定部、以及連接所述振膜和所述錨定部之間的彈性支撐件；所述錨定部繞設于所述振膜外周并與所述振膜間隔形成環繞所述振膜的間隙，所述振膜懸置于所述背腔一側且沿所述基底的軸向的正投影落入所述背腔內，所述振膜對應背腔的區域處凸設有擋板。本實用新型可以改善傳統MEMS麥克風膜片間隙在殘余應力或振動過程中縫隙擴大的問題，降低其低頻靈敏度的損失，從而提高了MEMS麥克風的使用壽命。

【附圖說明】