[實用新型]壓電式麥克風

有效

• 申請號: 202023285666.6
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214177514U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 沈宇;王凱杰;石正雨;童貝
• 申請（專利權）人: 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
• 主分類號: H04R1/08
• 分類號: H04R1/08
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

本實用新型提供了一種壓電式麥克風，包括具有腔體的基底、壓電部以及支撐部。壓電部設有貫穿其上的縫隙，縫隙將壓電部分隔為至少一個可自由振動的壓電單元，每一壓電單元包括固定部和振動部。振動部具有遠離固定部的振動端。壓電式麥克風還包括設置于振動端的擋板，擋板包括沿第二方向延伸的主體部，主體部覆蓋至少一部分振動端，且主體部靠近縫隙，第二方向垂直于第一方向和壓電單元的振動方向。通過在振動端設置擋板，可使壓電單元振動過程中，流過縫隙的氣體量減少，從而作用在壓電單元上的氣體量增加，進而提高壓電式麥克風的低頻靈敏度。

【技術領域】

本實用新型涉及聲電轉換裝置技術領域，具體涉及一種壓電式麥克風。

【背景技術】

現有技術的懸臂梁式麥克風，壓電部為3層(電極/壓電層/電極)或5層(電極/壓電層/電極/壓電層/電極)的懸臂梁結構，壓電部設有貫穿其上的縫隙，該縫隙將壓電部分隔為至少一個可自由振動的壓電單元，縫隙形成于兩個壓電單元或壓電單元與相鄰的固定結構之間?，F有的結構在聲壓的作用下，壓電膜片振動的過程中，縫隙位置的寬度會變大，導致氣體從縫隙中間流過，而作用在壓電膜片的氣體減少，導致麥克風低頻靈敏度降低。

因此，有必要提供一種新的麥克風來解決上述問題。

【實用新型內容】

本實用新型的目的在于提供一種壓電式麥克風，可提高壓電式麥克風的低頻靈敏度。

本實用新型的技術方案如下：一種壓電式麥克風，包括具有腔體的基底、壓電部以及連接所述基底和所述壓電部的支撐部；所述壓電部設有貫穿其上的縫隙，所述縫隙將所述壓電部分隔為至少一個可自由振動的壓電單元，每一所述壓電單元包括與所述支撐部連接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述縫隙延伸出且懸置于所述腔體的振動部，所述第一方向垂直于所述壓電單元的振動方向；所述振動部具有遠離所述固定部的振動端；所述壓電式麥克風還包括設置于所述振動端的擋板，所述擋板包括沿第二方向延伸的主體部，所述主體部覆蓋至少一部分所述振動端，且所述主體部靠近所述縫隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述壓電單元的振動方向。

可選的，所述振動部還包括連接所述振動端與所述固定部的連接部，所述連接部包括沿所述第二方向相對且間隔設置的兩個側壁；所述擋板還包括自所述主體部的相對兩端沿所述第一方向延伸的兩個延伸部，每一所述延伸部覆蓋至少一部分所述連接部，且每一所述延伸部靠近一個所述側壁。

可選的，所述壓電單元包括朝向所述腔體的第一側面和背向所述腔體的第二側面，所述擋板設置于所述第一側面和/或所述第二側面。

可選的，所述擋板包括固定于所述壓電單元的上表面、與所述上表面相對間隔設置的下表面以及連接所述上表面和所述下表面的側表面，所述側表面包括朝向所述縫隙的第一側表面，所述第一側表面為弧型面或為自所述上表面向所述下表面傾斜延伸的斜面。

可選的，所述擋板沿所述壓電單元的振動方向的投影至少部分落入所述縫隙內。

可選的，所述擋板包括間隔設置的多個子擋板。

可選的，所述擋板沿所述壓電單元的振動方向的高度與所述壓電單元厚度的比值范圍為：0.05至10。

可選的，所述擋板沿所述壓電單元的振動方向的高度與所述壓電單元厚度的比值范圍為：1至6。

可選的，所述振動端具有背向所述固定部的外表面，所述主體部至所述外表面沿所述第一方向的距離和所述振動部沿所述第一方向的長度的比值范圍為：0至0.2。

可選的，所述主體部至所述外表面沿所述第一方向的距離和所述振動部沿所述第一方向的長度的比值范圍為：0至0.02。

可選的，所述擋板由多晶硅制成。