[實用新型]一種硅片在線檢測移載裝置及太陽能電池生產線

有效

• 申請號: 202023282816.8
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN213519907U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 許明現;蔡涔;谷士斌;胡林;馬勝濤;安洋
• 申請（專利權）人: 東方日升（常州）新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/66;H01L31/18
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 呂露

本申請實施例提供一種硅片在線檢測移載裝置及太陽能電池生產線，涉及硅片加工技術領域。該硅片在線檢測移載裝置包括：可橫移的吸盤裝置，用于吸附硅片并提起；厚度測試儀，安裝于吸盤裝置上，用于檢測被吸附硅片的整體厚度；振動器，安裝于吸盤裝置上，用于振動以分離被吸附硅片下方粘附的硅片；可升降的緩存臺，用于承接吸盤裝置上落下的硅片。該硅片在線檢測移載裝置及太陽能電池生產線能夠有效分離疊片，還能極大減少硅片破損的發生。

技術領域

本申請涉及太陽能電池生產設備領域，具體而言，涉及一種硅片在線檢測移載裝置及太陽能電池生產線。

背景技術

目前，在光伏HIT(異質結，Heterojunctionwith Intrinsic Thinfilm)制程中，來料芯片的質量直接關系到整個芯片的制程效果，通過對來料芯片進行篩選以確保合格的芯片進入下一道工序。需要對單片的來料硅片進行產品質量檢測，檢測內容包括：硅片電阻率、厚度、TTV(硅片的總厚度變化)、翹曲度、線痕、隱裂、針孔、倒角、少子壽命等的檢測，并根據檢測結果對硅片進行分選及自動分類存儲。但是在通過切割硅棒制作硅片并打包后，堆疊的硅片之間存在面與面貼合緊密的情況，即發生疊片問題，無法進行后續的單片上料檢測等工序。

在進行HIT產線的硅片檢測上料過程中，針對疊片問題，最常規的處理方法就是通過上料盒四邊吹風，達到分離疊片的目的。例如一種堆疊式太陽能電池片自動上下料裝置，其包括工作臺、直線驅動裝置、對個料盒和下料傳送模組，在料盒上端敞口處兩側均設置吹氣分刀模組，吹氣分刀模組上具有多個間隔設置的吹氣孔，吹氣孔均朝向對應的料盒上端水平吹氣，吹氣分片模組外接氣泵。這種方法雖然能夠實現約99％的硅片分離從而達到正常上片目的，但仍然有1％左右的硅片依舊疊片。而且如果在吸附起硅片后疊片才發生分離，還會發生小批量硅片破損的問題，直接造成良品率下降，給正常生產帶來很大障礙。例如一種具有重量檢測功能的硅片自動堆疊式上料機，其包括橫向設置的載具輸送機構，至少一載具，升降機構，風道機構，硅片搬運機構，上料輸送機構，橫向傳輸機構，第一稱重單元，第二稱重單元，其中的風刀機構能夠發出規律的氣流，以實現將位于頂端的硅片吹氣，與底下的硅片分離，同時還在風刀機構的旁側設置硅片搬運機構，以實現將載具最頂端的硅片沿縱向方向運送，但是硅片搬運機構縱向運輸硅片的過程中疊片硅片才分離，如此一來，分離下來的硅片掉落，容易破損或損壞底下的硅片。

因此，需要一種堆疊式太陽能電池片/硅片的上料方法，以解決上述問題。

實用新型內容

本申請實施例的目的在于提供一種硅片在線檢測移載裝置及太陽能電池生產線，能夠有效分離疊片，還能極大減少硅片破損的發生。

第一方面，本申請實施例提供了一種硅片在線檢測移載裝置，其包括：

可橫移的吸盤裝置，用于吸附硅片并提起；

厚度測試儀，安裝于吸盤裝置上，用于檢測被吸附硅片的整體厚度；

振動器，安裝于吸盤裝置上，用于振動以分離被吸附硅片下方粘附的硅片；

可升降的緩存臺，用于承接吸盤裝置上落下的硅片。

在上述實現過程中，利用吸盤裝置直接吸附最上方的硅片并將硅片提起，再通過厚度測試儀檢測被吸附硅片的整體厚度來判斷是否有疊片現象，如果發生疊片，則將被吸附的硅片橫移至緩存臺上方，利用振動器產生的振動有效分離疊片，并利用緩存臺升降來承接分離的硅片，減少硅片因掉落而導致的破裂或隱裂等缺陷發生；再重復利用厚度測試儀檢測判斷是否存在疊片，并根據判斷結果進行相應處理，直至吸附的硅片為單片，便于進行后續的上片操作。

在一種可能的實現方式中，還包括控制器，控制器被配置成用于控制吸盤裝置吸附硅片并提起，再控制厚度測試儀檢測被吸附硅片的整體厚度；