[實用新型]一種多功能晶圓傳輸機構

有效

• 申請號: 202023280071.1
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN213716867U
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 鄧信甫;周乾;劉大威;陳丁堃
• 申請（專利權）人: 上海至純潔凈系統科技股份有限公司;至微半導體（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

1.一種多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，包括中央導片區域、垂直導片機構、入貨窗口備載區、第一承載傳遞區和第二承載傳遞區，

其中，所述垂直導片機構設于所述中央導片區域內，所述第一承載傳遞區設于所述中央導片區域的一側，所述第二承載傳遞區設于所述中央導片區域的另一側，所述入貨窗口備載區設于所述中央導片區域的一端，且所述入貨窗口備載區包括框體、線性機器人、傳遞平臺和銜接平臺，所述框體內設有至少兩個所述傳遞平臺，所述傳遞平臺的一側依次設有一所述線性機器人和一所述銜接平臺。

2.如權利要求1所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述垂直導片機構包括殼體，設于所述殼體內的夾持組件，以及設于所述殼體的外側用于控制所述夾持組件的聯桿調節模組。

3.如權利要求2所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述聯桿調節模組包括氣缸、聯動組件和轉動曲柄，所述氣缸設于所述殼體上，且所述聯動組件以及所述轉動曲柄分別與所述氣缸的活塞桿連接，所述轉動曲柄的一端與所述聯動組件連接，所述轉動曲柄的另一端與所述夾持組件的從所述殼體內伸出的端部相連。

4.如權利要求3所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述夾持組件包括支撐板、夾持件、旋轉軸桿和曲柄聯動軸桿，所述殼體的兩側的內壁上設有兩所述旋轉軸桿，每一所述旋轉軸桿上分別設有一所述支撐板，每一所述支撐板上分別設有一所述夾持件，所述曲柄聯動軸桿的一端與所述支撐板連接，所述曲柄聯動軸桿的另一端與所述轉動曲柄連接。

5.如權利要求4所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，每一所述支撐板的兩端的端部分別與所述旋轉軸桿螺紋連接。

6.如權利要求4所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述旋轉軸桿的一端通過轉動阻擋組件與所述殼體連接。

7.如權利要求1所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述第一承載傳遞區包括第一長軸線性機器人、第一承載傳遞用平臺和第一承載傳遞用銜接平臺，其中，所述第一長軸線性機器人設于所述中央導片區域的一側，且所述第一承載傳遞用平臺和所述第一承載傳遞用銜接平臺均設于所述第一長軸線性機器人的一側。

8.如權利要求1所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，所述第二承載傳遞區包括第二長軸線性機器人、第二承載傳遞用平臺和第二承載傳遞用銜接平臺，其中，所述第二長軸線性機器人設于所述中央導片區域的一側，且所述第二承載傳遞用平臺和所述第二承載傳遞用銜接平臺均設于所述第二長軸線性機器人的一側。

9.如權利要求1所述的多功能晶圓傳輸機構，其特征在于，還包括支架，所述垂直導片機構、所述第一承載傳遞區和所述第二承載傳遞區均安裝于所述支架上。