[實用新型]并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統

有效

• 申請號: 202023275536.4
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN213714231U
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 余卿;張一;肖澤幀;程方;王寅;尚文鍵;張雅麗;鄒景武;王翀;董聲超;陳濤
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 廈門智慧呈睿知識產權代理事務所(普通合伙) 35222
• 代理人: 陳曉思

1.一種并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：包括并行彩色共聚焦測量系統(100)和能對測量數據進行誤差補償的數據處理系統(200)；所述并行彩色共聚焦測量系統(100)包括復色光源(101)、準直透鏡(102)、色散管鏡(103)、數字微鏡器件(104)、分光模塊(105)、載物模塊(106)和彩色相機(107)；所述彩色相機(107)連接于所述數據處理系統(200)；

所述復色光源(101)朝向同線的所述準直透鏡(102)、色散管鏡(103)和數字微鏡器件(104)；

所述復色光源(101)發出的單束光依次透過準直透鏡(102)和色散管鏡(103)到達數字微鏡器件(104)中，反饋出光點陣列通過分光模塊(105)照射在載物模塊(106)，被載物模塊(106)反射后的光點陣列再次透過分光模塊(105)進入彩色相機(107)中，通過彩色相機(107)傳輸到數據處理系統(200)。

2.根據權利要求1所述的并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：所述分光模塊(105)包括第一透鏡組(105a)、分光鏡(105b)、第二透鏡組(105c)和第三透鏡組(105d)；所述分光鏡(105b)的上方設置水平的所述第一透鏡組(105a)，分光鏡(105b)的左側設置豎直的所述第二透鏡組(105c)，分光鏡(105b)的右側設置豎直的所述第三透鏡組(105d)；所述第一透鏡組(105a)的上方設置所述數字微鏡器件(104)；所述第二透鏡組(105c)的左側設置所述載物模塊(106)；所述第三透鏡組(105d)的右側設置所述彩色相機(107)。

3.根據權利要求2所述的并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：所述載物模塊(106)平行于所述第二透鏡組(105c)。

4.根據權利要求2所述的并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：被載物模塊(106)反射后的光點陣列透過分光模塊(105)進入彩色相機(107)的光路中心為光軸，所述載物模塊(106)搭載被測物沿光軸方向移動。

5.根據權利要求4所述的并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：所述載物模塊(106)為沿光軸方向移動的二維運動載物臺。

6.根據權利要求2所述的并行彩色共聚焦測量的軸外光色散誤差消除系統，其特征在于：所述復色光源(101)發出的單束光依次透過準直透鏡(102)和色散管鏡(103)到達數字微鏡器件(104)中，數字微鏡器件(104)反饋出的光點陣列透過第一透鏡組(105a)、經過分光鏡(105b)反射、透過第二透鏡組(105c)照射在載物模塊(106)上的被測物表面，被測物表面反射后的光點陣列透過第二透鏡組(105c)、分光鏡(105b)和第三透鏡組(105d)，進入彩色相機(107)中。