[實用新型]一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置

有效

• 申請號: 202023265729.1
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN213635936U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 仇慧生;芮瞻飛;蔣文旭;陸古相;謝程
• 申請（專利權）人: 環晟光伏（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;B08B1/00
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，包括：

傳送裝置、定位裝置，皮帶；

其中，所述傳送裝置的兩端設有所述定位裝置，所述定位裝置將所述皮帶橫向固定在所述傳送裝置上，所述皮帶承載大尺寸硅片，所述傳送裝置勻速傳輸，帶動所述承載大尺寸硅片的皮帶運動。

2.根據權利要求1所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，所述傳送裝置包括傳送驅動機構和傳送架，所述傳送驅動機構驅動所述傳送架勻速運動，所述傳送架的兩端設有所述定位裝置，所述定位裝置與所述傳送架可拆卸連接。

3.根據權利要求1所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，所述皮帶設有多根，所述多根皮帶的中心部位均設有真空吸孔，所述真空吸孔緊密吸附所述大尺寸硅片貼緊在所述皮帶上。

4.根據權利要求3所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，位于所述真空吸孔的下方設有真空泵，所述真空泵抽凈空氣，為所述真空吸孔提供吸附力。

5.根據權利要求1所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，每相鄰所述皮帶之間設有相等的間距，所述間距的大小不超過被承載的所述大尺寸硅片的尺寸。

6.根據權利要求1所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，所述皮帶的兩端設有卡塊，所述卡塊將所述大尺寸硅片卡緊在所述皮帶上。

7.根據權利要求2所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，所述傳送架的兩端設有通孔，穿過所述通孔設有鎖緊件，所述鎖緊件鎖緊所述傳送架與所述定位裝置。

8.根據權利要求1所述的一種適用于大尺寸硅片的傳輸裝置，其特征在于，還包括清掃裝置，所述清掃裝置包括驅動裝置和清掃件，所述清掃件是一毛刷，所述驅動裝置驅動所述毛刷對皮帶進行清掃操作。