[實用新型]一種半導體晶體除雜裝置

有效

• 申請號: 202023263254.2
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN213691972U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 徐永帥
• 申請（專利權）人: 深圳天成先進材料科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳茂達智聯知識產權代理事務所(普通合伙) 44394
• 代理人: 徐文軍

1.一種半導體晶體除雜裝置，包括除雜裝置本體(1)，其特征在于：所述除雜裝置本體(1)由從左右到依次活動安裝的進風管(2)、恒溫除雜箱(3)、保溫箱(4)、低溫除雜箱(5)、出風管(6)組成；所述恒溫除雜箱(3)、所述低溫除雜箱(5)上均開設有門洞，所述門洞通過其上設有的固定機構活動安裝有門板(7)；所述恒溫除雜箱(3)的門板(7)上固定連接有架體(8)，所述架體(8)從所述門洞穿進所述恒溫除雜箱(3)內，所述架體(8)上設置有用于放置半導體晶體的托盤(9)；所述保溫箱(4)內固定連接有多層保溫板(10)，每個所述保溫板(10)上均開設有透氣孔(11)；所述低溫除雜箱(5)的門板(7)上固定連接有用于容納多孔吸附材料的外框(12)，所述外框(12)從所述門洞穿進所述低溫除雜箱(5)內，所述外框(12)的兩側均活動安裝有用于將多孔吸附材料封堵在外框(12)內的透氣網(13)。

2.根據權利要求1所述的半導體晶體除雜裝置，其特征在于：所述進風管(2)、恒溫除雜箱(3)、保溫箱(4)、低溫除雜箱(5)、出風管(6)通過法蘭(14)安裝在一起。

3.根據權利要求1所述的半導體晶體除雜裝置，其特征在于：所述固定機構包括固定座(15)、轉動座(16)、螺桿(17)、螺筒(18)、手輪(19)、固定槽(20)，所述固定槽(20)開設在所述門板(7)上，所述固定座(15)分別固定連接在所述恒溫除雜箱(3)、所述低溫除雜箱(5)上，所述轉動座(16)轉動連接在所述固定座(15)上，所述螺桿(17)固定連接在所述轉動座(16)上，所述螺筒(18)螺紋連接在所述螺桿(17)上，所述手輪(19)固定連接在所述螺筒(18)上。

4.根據權利要求1所述的半導體晶體除雜裝置，其特征在于：每個所述保溫板(10)上的透氣孔(11)相互錯開分布。

5.根據權利要求1所述的半導體晶體除雜裝置，其特征在于：所述透氣網(13)的網孔大小小于多孔吸附材料的粒徑大小。