[實用新型]一種用于粉末燒結的振動填充夾具

有效

• 申請號: 202023262456.5
• 申請日: 2020-12-30
• 公開（公告）號: CN214065728U
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發明（設計）人: 大巖一彥;姚科科;廣田二郎;中村晃;林智行;山田浩
• 申請（專利權）人: 浙江最成半導體科技有限公司
• 主分類號: F27B21/10
• 分類號: F27B21/10;F27B21/08
• 代理公司: 寧波高新區永創智誠專利代理事務所(普通合伙) 33264
• 代理人: 付帥

本實用新型公開了一種用于粉末燒結的振動填充夾具，涉及半導體靶材粉末燒結技術領域，包括：燒結夾具、以及用于放置燒結夾具的振動臺；燒結夾具內部填充有燒結粉末；振動臺可將燒結粉末均勻填充在燒結夾具內，燒結夾具包括夾具本體、以及用于壓緊夾具本體內燒結粉末的上夾板；本實用新型的用于粉末燒結的振動填充夾具通過振動臺的設置，能夠在短時間內均勻地實現燒結粉末的填充工作，燒結粉末填充工作時間從原來的人工工作1小時減少到現在的15分鐘，并且填充的更加均勻，有效的降低了燒結體出現破裂的情況；并且，還能根據燒結粉末的類型和粉末顆粒大小，調節合適的振動頻率和振動時間，具有更好的通用性。

技術領域

本實用新型涉及半導體靶材粉末燒結技術領域，尤其是一種用于粉末燒結的振動填充夾具。

背景技術

現有技術中，半導體靶材領域一般進行粉末燒結時，通常將規定重量的要燒結的粉末放入燒結夾具中，通過攪拌粉末內部的同時，使粉末的頂面高度均勻并調平粉末；在達到均勻的高度后，使用沖壓夾具調整推動量并從外圓周傳遞到內圓周；在相同方向上以螺旋形狀進行沖壓，重復此沖壓工作，最后施加身體重量，直到無法再按為止；其中堆積密度由粉末平整和壓模后從燒結夾具的頂表面到粉末的頂表面的尺寸差決定，采用該方式存在費時費力的問題，同時還存在填充不夠均勻的問題。

實用新型內容

一、要解決的技術問題

本實用新型是針對現有技術所存在的上述缺陷，特提出一種用于粉末燒結的振動填充夾具，解決了半導體靶材粉末燒結過程中粉末填充費時費力的問題，同時還存在填充不夠均勻的問題。

二、技術方案

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種用于粉末燒結的振動填充夾具，包括：燒結夾具、以及用于放置燒結夾具的振動臺；

燒結夾具內部填充有燒結粉末；

振動臺可將燒結粉末均勻填充在燒結夾具內。

其中，燒結夾具包括夾具本體、以及用于壓緊夾具本體內燒結粉末的上夾板。

其中，上夾板材質為不銹鋼。

其中，上夾板可套設在夾具本體內。

其中，燒結夾具包括內壁和下底板，上夾板外徑與內壁內徑為間隙配合。

其中，夾板與內壁之間的間隙為0.1～0.2mm。

其中，通過控制上夾板的壓緊深度調節燒結粉末的填充高度。

其中，振動臺的振動頻率為30至100Hz。

三、有益效果

與現有技術相比，本實用新型的用于粉末燒結的振動填充夾具通過振動臺的設置，能夠在短時間內均勻地實現燒結粉末的填充工作，燒結粉末填充工作時間從原來的人工工作1小時減少到現在的15分鐘，并且填充的更加均勻，有效的降低了燒結體出現破裂的情況；

并且，還能根據燒結粉末的類型和粉末顆粒大小，調節合適的振動頻率和振動時間，具有更好的通用性。

附圖說明

圖1為本實用新型的示意圖1；

圖2為本實用新型的示意圖2；

圖中：1為燒結粉末；2為燒結粉末；3為振動臺；4為上夾板；5為夾具本體；6為內壁；7為下底板。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。

實施例1：