[實用新型]鍍膜設備的熱交換系統

有效

• 申請號: 202023255477.4
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN214039182U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 李敦憲
• 申請（專利權）人: 樂金顯示光電科技（中國）有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D29/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型公開一種鍍膜設備的熱交換系統，包括冷卻機組和自動控制閥箱。冷卻機組與鍍膜設備的處理腔連接，用于對處理腔降溫，冷卻機組包括主機組和備用機組，主機組的輸出口和備用機組的輸出口均通過第一管道與處理腔的輸入接頭連接，第一管道用于將主機組或備用機組內部的冷卻介質輸入到處理腔內，主機組的輸入口和備用機組的輸入口均通過第二管道與處理腔的輸出接頭連接，第二管道用于將處理腔內部的冷卻介質排出到主機組或備用機組中；自動控制閥箱包括控制器和控制閥，第一管道和第二管道上均設置有控制閥，控制閥能夠控制主機組或備用機組對鍍膜設備降溫，控制閥與控制器連接。其能自動切換冷卻機組，無需停機更換冷卻機組。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜技術領域，尤其涉及一種鍍膜設備的熱交換系統。

背景技術

在半導體顯示制造過程中，鍍膜工藝被廣泛應用。鍍膜時需要使用鍍膜設備，鍍膜設備的處理腔在鍍膜過程中溫度會升高，長時間保持高溫的狀態不利于鍍膜，因此在鍍膜時一般會采用冷水機組對處理腔進行降溫處理。

目前，鍍膜設備一般通過一組冷水機組進行降溫，冷水機組的進水口和出水口通過冷卻管道連通，冷卻管道位于處理腔內，冷水機組向冷卻管道循環輸入冷卻水，利用循環的冷卻水在處理腔與冷水機組之間進行熱交換，以降低處理腔的溫度。然而，一個鍍膜設備連接一組冷水機組，冷水機組一旦發生故障將導致處理腔無法正常降溫，只能更換新的冷水機組。在更換冷水機組時，必須將鍍膜設備停機，且每次更換冷水機組需要3小時以上，花費時間較長，嚴重延誤生產進程。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：提供一種鍍膜設備的熱交換系統，其能自動切換冷卻機組，無需停機更換冷卻機組。

為達到此目的，本實用新型采用以下技術方案：

提供一種鍍膜設備的熱交換系統,包括：

冷卻機組，所述冷卻機組與鍍膜設備的處理腔連接，用于對所述處理腔降溫，所述冷卻機組包括主機組和備用機組，所述主機組的輸出口和所述備用機組的輸出口均通過第一管道與所述處理腔內的冷卻管道的輸入接頭連接，所述第一管道用于將所述主機組或所述備用機組內部的冷卻介質輸入到所述冷卻管道內，所述主機組的輸入口和所述備用機組的輸入口均通過第二管道與所述冷卻管道的輸出接頭連接，所述第二管道用于將所述冷卻管道內部的冷卻介質排出到所述主機組或所述備用機組中；

自動控制閥箱，所述自動控制閥箱包括控制器和控制閥，所述第一管道和所述第二管道上均設置有所述控制閥，所述控制閥能夠控制所述主機組或所述備用機組對所述鍍膜設備降溫，所述控制閥與所述控制器連接。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所有的所述第一管道和所有的所述第二管道上均設置有調節閥，所述調節閥用于調節冷卻介質流通的速度，所述調節閥與所述控制器通訊連接。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所述控制器還包括用于操控所述控制閥和所述調節閥的觸摸屏。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所述自動控制閥箱還包括箱體，所述箱體具有用于容納所述控制閥和所述調節閥的容納腔，所述第一管道和所述第二管道均貫穿所述容納腔的腔壁。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所述箱體具有與所述容納腔連通的開口，所述開口蓋設有箱門，所述箱門上開設有觀察窗。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所述容納腔內部設置有隔板，所述隔板將所述容納腔分隔形成第一腔體和第二腔體，所有的所述第一管道貫穿所述第一腔體，所有的所述第二管道貫穿所述第二腔體。

作為所述的鍍膜設備的熱交換系統的一種優選的技術方案，所述第一腔體的腔壁設置有保溫層。