[實用新型]一種用于判定直拉硅單晶位錯的裝置有效

申請號：	202023249599.2	申請日：	2020-12-29
公開（公告）號：	CN214655359U	公開（公告）日：	2021-11-09
發明（設計）人：	王萬華;李英濤;王凱磊;皮小爭;姜艦;崔彬;吳志強	申請（專利權）人：	有研半導體硅材料股份公司;山東有研半導體材料有限公司
主分類號：	C30B15/26	分類號：	C30B15/26;C30B29/06
代理公司：	北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100	代理人：	劉秀青
地址：	101300 北京***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于判定直拉硅單晶位錯裝置
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【權利要求書】：

1.一種用于判定直拉硅單晶位錯的裝置，其特征在于，該裝置包括分辨率為500W像素的CCD相機，該CCD相機通過固定支架固定在單晶爐副室爐筒側壁上的觀察窗，并通過數據線連接電腦；所述觀察窗的中心位置與副室最下端距離為30-40mm；該CCD相機正對單晶爐副室爐筒內的硅單晶表面，視場范圍為50mm，并將采集到的硅單晶表面的圖像傳輸到電腦，電腦對圖像進行分析確定滑移線的位置。

2.根據權利要求1所述的用于判定直拉硅單晶位錯的裝置，其特征在于，所述CCD相機鏡頭直徑為20-30mm。

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