[實用新型]微波功率源、微波等離子體裝置

有效

• 申請號: 202023243091.1
• 申請日: 2020-12-29
• 公開（公告）號: CN213783673U
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 林默原;章瑩;姚利峰
• 申請（專利權）人: 蘇州邁微能等離子科技有限公司
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 吳芳

1.一種微波功率源，其特征在于，包括：

微波信號發生器，用于根據指令產生相應發射頻率的微波信號；

信號調節單元，用于對所述微波信號發生器產生的微波信號的幅度、相位進行調節，并用于加載不同頻率與占空比的脈沖信號；

半導體放大單元，用于對所述信號調節單元調節的微波信號進行放大；

信號傳輸與負載檢測單元，用于將所述半導體放大單元放大的微波信號發送至負載，并對發送至所述負載的微波信號以及由負載失配產生的微波反射信號進行檢測，得到檢測采樣信號；

控制單元，用于控制所述微波信號發生器的信號發射頻率。

2.根據權利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述信號調節單元包括可控衰減器、可控移相器、可控高速射頻開關，其中，所述可控衰減器用于接收所述控制單元的控制指令并根據所述控制指令對微波信號進行衰減；所述可控移相器用于接收所述控制單元的控制指令并根據所述控制指令對微波信號的相位進行調節；所述可控高速射頻開關用于接收所述控制單元的控制指令并根據所述控制指令對微波信號進行脈沖調制。

3.根據權利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述信號傳輸與負載檢測單元包括傳輸定向耦合器、環形器、反射定向耦合器、傳輸功率檢波模塊和反射功率檢波模塊，其中，所述傳輸定向耦合器、環形器和反射定向耦合器用于將所述放大的微波信號傳輸至負載。

4.根據權利要求3所述的微波功率源，其特征在于，所述傳輸功率檢波模塊用于對傳輸至負載的微波信號進行耦合取樣檢波并將得到的第一檢波電壓信號發送至所述控制單元。

5.根據權利要求3所述的微波功率源，其特征在于，所述反射功率檢波模塊用于對由負載失配產生的微波反射信號進行耦合取樣檢波并將得到的第二檢波電壓信號發送至所述控制單元。

6.根據權利要求1所述的微波功率源，其特征在于，所述微波信號發生器包括分立設置或集成設置的壓控振蕩器和鎖相環，以實現產生的微波信號在25-3000MHz頻率范圍內可調。

7.根據權利要求1至6中任意一項所述的微波功率源，其特征在于，所述負載為等離子體發生裝置。

8.一種微波等離子體裝置，其特征在于，包括等離子體發生裝置及如權利要求1至7中任意一項所述的微波功率源，所述等離子體發生裝置接收所述微波功率源的信號傳輸與負載檢測單元傳輸的微波信號，以在所述等離子體發生裝置的管口產生能夠擊穿氣體而產生等離子體的電場。