[實(shí)用新型]一種從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023213584.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214191651U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王善忠
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 愛(ài)丁堡（南京）光電設(shè)備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G47/91
• 分類(lèi)號(hào): B65G47/91
• 代理公司: 南京中律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的裝置，抓取光學(xué)零件的裝置，包括抓取裝置和吸附裝置；抓取裝置包括安裝基板、連接彈簧、吸嘴安裝盤(pán)和吸嘴組件；連接彈簧的一端連接安裝基板、另一端連接吸嘴安裝盤(pán)；吸嘴組件安裝在吸嘴安裝盤(pán)上；吸附裝置包括加熱模塊、第一真空泵、頂針和行程控制裝置；加熱模塊頂部中央設(shè)有導(dǎo)熱柱、周邊設(shè)有圍擋；圍擋的頂部設(shè)有布滿(mǎn)透氣孔的吸附板；加熱模塊、圍檔、導(dǎo)熱柱和吸附板之間的部分形成真空腔，真空腔與第一真空泵連通；導(dǎo)熱柱和加熱模塊上設(shè)有貫通的行程孔，頂針的尾部連接在行程控制裝置上、頭部伸入行程孔內(nèi)。上述裝置有效提高了從粘性藍(lán)膜上吸附抓取樣品的成功率，降低了對(duì)機(jī)械臂定位精度的要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的裝置，屬于光學(xué)零件的制備領(lǐng)域。

背景技術(shù)

微電子、微光學(xué)和微光電子器件在生產(chǎn)過(guò)程中常常利用帶粘性的藍(lán)膜來(lái)承載器件，在前道工藝完成后，需要將每一個(gè)微器件從藍(lán)膜上取下來(lái)進(jìn)入后道工藝(例如清洗、檢測(cè)、分類(lèi)、封裝等)。

將產(chǎn)品從藍(lán)膜上取下，是目前生產(chǎn)實(shí)踐中的一個(gè)難題。生產(chǎn)微電子、微光學(xué)、微光電子器件的材料都是脆、軟、易碎裂、易被蹭傷的特種材料，經(jīng)實(shí)踐，單靠負(fù)壓吸附將樣品從藍(lán)膜上取下來(lái)的成功率很低，一方面，在吸附時(shí)，需要加大吸嘴對(duì)樣品的擠壓力，以盡可能地提高吸附的穩(wěn)定性，這樣很容易在吸附過(guò)程中造成樣品的損壞，另一方面，在剝離時(shí)，容易在從藍(lán)膜上拽取樣品的時(shí)候，造成吸嘴漏氣，進(jìn)而導(dǎo)致樣品從吸嘴脫落，導(dǎo)致取樣失敗。同時(shí)實(shí)際工況條件下，機(jī)械臂的空間定位精度也是有一定的限制的，過(guò)高的要求不但導(dǎo)致設(shè)備成本的大幅度上升，而且給設(shè)備標(biāo)定、維護(hù)等生產(chǎn)和使用帶來(lái)嚴(yán)重的負(fù)擔(dān)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的裝置，有效提高了從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的成功率，同時(shí)降低了對(duì)機(jī)械臂定位精度的要求。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種從粘性藍(lán)膜上吸附抓取光學(xué)零件的裝置，包括抓取裝置和吸附裝置；

抓取裝置包括安裝基板、連接彈簧、吸嘴安裝盤(pán)和吸嘴組件；安裝基板和吸嘴安裝盤(pán)相對(duì)設(shè)置；連接彈簧位于安裝基板和吸嘴安裝盤(pán)之間，連接彈簧的一端連接安裝基板、另一端連接吸嘴安裝盤(pán)；吸嘴組件上設(shè)有柔性吸嘴，吸嘴組件安裝在吸嘴安裝盤(pán)上、且柔性吸嘴從吸嘴安裝盤(pán)的外側(cè)面伸出，其中，安裝基板和吸嘴安裝盤(pán)之間為內(nèi)，反之為外；

吸附裝置包括加熱模塊、第一真空泵、頂針和行程控制裝置；加熱模塊頂部沿周邊設(shè)有圍擋；圍擋內(nèi)側(cè)的加熱模塊頂部設(shè)有導(dǎo)熱柱；導(dǎo)熱柱外的圍擋的頂部設(shè)有吸附板，吸附板為環(huán)形，吸附板的內(nèi)周邊與導(dǎo)熱柱的頂部周邊相接，吸附板的頂部與導(dǎo)熱柱的頂部齊平，吸附板的外周邊與圍擋周邊相接，吸附板上分布有透氣孔；加熱模塊、圍檔、導(dǎo)熱柱和吸附板之間的部分形成真空腔，真空腔通過(guò)管路與第一真空泵連通；導(dǎo)熱柱和加熱模塊上設(shè)有沿軸向設(shè)置、且貫通的行程孔，頂針的長(zhǎng)度大于行程孔的軸向長(zhǎng)度，頂針的一端為頭部、另一端為尾部，頂針的尾部連接在行程控制裝置上、頂針的頭部從加熱模塊一側(cè)伸入行程孔，在行程控制裝置的帶動(dòng)下，頂針沿導(dǎo)熱柱軸向移動(dòng)、且頂針的頭部可從導(dǎo)熱柱端伸出。

使用時(shí)，安裝基板與機(jī)械臂、自動(dòng)化XYZR移動(dòng)臺(tái)等運(yùn)動(dòng)部件連接，且通常情況下安裝基板和吸嘴安裝盤(pán)呈上下布置，柔性吸嘴位于吸嘴安裝盤(pán)的底部。