[實用新型]一種拋光液配置裝置

有效

• 申請號: 202023186287.1
• 申請日: 2020-12-26
• 公開（公告）號: CN214210217U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 常磊;付素榮;王松娟;汪靜
• 申請（專利權）人: 河南聯合精密材料股份有限公司
• 主分類號: B01F7/18
• 分類號: B01F7/18;B01F7/24;B01F7/32;B01F13/02;B01F3/12
• 代理公司: 鄭州優盾知識產權代理有限公司 41125
• 代理人: 王紅培

本實用新型提供了一種拋光液配置裝置，包括操作平臺和設置在操作平臺上的攪拌桶，所述攪拌桶內設有一級攪拌桿和二級攪拌桿，一級攪拌桿和二級攪拌桿與電機相連，所述攪拌桶下方設有氣體釋放裝置，氣體釋放裝置與空氣壓縮機相連。本發明將框式攪拌器、一字型攪拌器、螺旋式攪拌器，氣體鼓泡攪拌相組合，框式攪拌器與一字型攪拌器的組合使用能夠實現較粘稠液體快速混勻，螺旋式攪拌器能夠將底部磨料快速帶到攪拌桶的中部，加強軸向交換，實現上下循環。本實用新型能夠實現不同粘稠度拋光液、不同粗細磨料拋光液的快速混合均勻，避免罐裝出現包裝單元之間的固含量差異。

技術領域

本發明涉及液體配置領域，具體涉及一種拋光液配置裝置。

背景技術

近年來，5G技術的快速發展對半導體晶圓的拋光提出了更高的要求。拋光液特別是金剛石研磨液、氧化鋁拋光液在拋光藍寶石、碳化硅晶圓上應用廣泛。這些拋光液存在的一個共性問題：不同包裝單元之間磨料固含量差異較大，具體來說，先罐裝的包裝單元磨料固含量較高，后罐裝的磨料固含量低。若拋光液粘度低，磨料又較粗，固含量又高，這樣包裝單元之間的差異更加的明顯，會直接導致晶圓拋光過程中移除速率不穩定，影響晶圓拋光效率及其表面質量。盡管有一些中國專利如：CN205613356U公布了一種氧化鋁拋光液配置裝置，能夠實現氧化鋁粉的分散、分級、過濾，但是上述問題仍然存在，因此，從改進拋光液配置過程中的勻化裝置入手，來提高晶圓的拋光效果和移除速率能夠得到事半功倍的效果。

發明內容

本發明提出了一種拋光液配置裝置，該裝置能夠實現不同粘稠度拋光液、不同粗細度拋光液的均勻化配置，實現不同包裝單元之間磨料固含量無差異，裝置簡單，易于實現，效果優于市售一般攪拌裝置。

實現本發明的技術方案是：

一種拋光液配置裝置，包括操作平臺和設置在操作平臺上的攪拌桶，所述攪拌桶內設有一級攪拌桿和二級攪拌桿，一級攪拌桿和二級攪拌桿與電機相連，所述攪拌桶下方設有氣體釋放裝置，氣體釋放裝置與空氣壓縮機相連。

所述的一級攪拌桿材質為不銹鋼，表面噴涂聚四氟乙烯，是框式攪拌器和一字型攪拌器的組合，能夠攪拌不同粘度、磨料不同粗細的各類拋光液。所述的二級攪拌桿材質為不銹鋼，表面噴涂聚四氟乙烯，是螺旋式攪拌器，能夠將沉淀在桶底部的磨料快速提升起來，便于均勻混合。

所述的攪拌桶材質為不銹鋼，內部噴涂聚四氟乙烯。

所述電機設置在攪拌桶上方，電機上設有攪拌桿轉速控制器。

所述攪拌桶上端設有投料口、側面及底部設有觀察窗。

所述氣體釋放裝置內部設有空腔，氣體釋放裝置上端設有氣孔，氣孔與空腔相連通，氣體釋放裝置上還設有氣管接口，氣管接口通過氣管與空氣壓縮機相連。

所述攪拌桶底部均布氣體釋放裝置，該裝置上均布氣孔的尺寸0.1-1.0mm。所述的出液閥門為單向閥，只可流出液體，不能流入液體；所述的出液閥門安裝在攪拌桶底部管段上。

所述攪拌桶下方設有接液軟管，接液軟管上設有出液閥門。

所述氣管上設有氣壓調節閥。

本發明的有益效果是：本發明將框式攪拌器、一字型攪拌器、螺旋式攪拌器，氣體鼓泡攪拌相組合，框式攪拌器與一字型攪拌器的組合使用能夠實現較粘稠液體快速混勻，螺旋式攪拌器能夠將底部磨料快速帶到攪拌桶的中部，加強軸向交換，實現上下循環。氣體鼓泡裝置根據需要開啟，能夠將要下沉或已經沉淀的磨料吹起來，吹氣的力度大小通過氣壓調節閥進行調節。本實用新型能夠實現不同粘稠度拋光液、不同粗細磨料拋光液的快速混合均勻，避免罐裝出現包裝單元之間的固含量差異。

附圖說明