[實用新型]一種可雙軸安裝激光器的真空吸盤

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023184898.2
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN214641123U
• 公開（公告）日: 2021-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚昭東
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州東準(zhǔn)機電科技有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K26/362;G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 蘇州欣達共創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32405
• 代理人: 戴麗

本實用新型公開了一種可雙軸安裝激光器的真空吸盤，包括邊緣相互密閉貼合的吸氣板和抽真空盤，吸氣板上端面開矩形陣列設(shè)有若干個吸氣孔，并且在吸氣板相鄰兩邊X軸和Y軸間距均勻地開設(shè)激光器的安裝孔，抽真空盤內(nèi)部設(shè)有空腔，空腔內(nèi)還矩形陣列設(shè)置有若干個支撐柱，空腔對位的兩邊還開設(shè)有若干個抽氣孔，抽氣孔底部還連通有匯流槽，匯流槽底部密閉固連有底座，底座中部固連有抽氣管，該真空吸盤利用在真空吸盤X軸、Y軸上雙向地設(shè)置安裝孔，在安裝孔上密閉安裝有激光器，利用雙向激光器實現(xiàn)交叉測距定位，且采用大間距的支撐柱，減少加工走刀次數(shù)，降低生產(chǎn)真空吸盤的制造成本，也不會影響到吸氣板的平面度，簡單實用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體光刻機輔助器械技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種可雙軸安裝激光器的真空吸盤。

背景技術(shù)

真空吸盤是直寫式光刻機必須的零部件，但現(xiàn)有的真空吸盤由于吸附平臺尺寸較大，對于多個待吸附的PCB板進行定位極為不便，較為改進型的真空吸盤上設(shè)置了刻度，但是對于人工手動定位，耗時耗力，況且高精度的光刻技術(shù)現(xiàn)已經(jīng)全部采用無塵環(huán)境下的自動移料定位，也就是全部由機器人自主完成對PCB板的定位，無需人力干預(yù)，為此設(shè)計一種能夠利于機械快速識別的定位裝置，基于激光打標(biāo)定位的技術(shù)方案便應(yīng)用到了該領(lǐng)域，通常少有采用激光打標(biāo)的真空吸盤設(shè)備，有的也僅僅是在單軸向上進行固定激光器，結(jié)合曝光機上方固定的相機拍攝打標(biāo)位置，可以給予PCB板反向定位坐標(biāo)指引；還有，現(xiàn)有真空吸盤內(nèi)部空腔支撐棱柱過于繁多，而支撐棱柱多并不會給予吸附平面的平整度帶來較大幫助，反而增加了真空吸盤的生產(chǎn)制造成本。因此，我們需要特別改良設(shè)計一種便于固定激光器的、降低生產(chǎn)成本的真空吸盤。

實用新型內(nèi)容

本實用新型目的：針對現(xiàn)背景技術(shù)中的問題，我們設(shè)計一種可雙軸安裝激光器的真空吸盤，在真空吸盤X軸、Y軸上雙向地設(shè)置安裝孔，在安裝孔上密閉安裝有激光器，利用雙向激光器實現(xiàn)雙點、雙面打標(biāo)定位，且該真空吸盤摒棄了傳統(tǒng)現(xiàn)有吸盤的支撐棱柱過多的加工不便，成本高的設(shè)計弊端，采用大間距的支撐柱，減少加工走刀次數(shù)，降低生產(chǎn)真空吸盤的制造成本，簡單實用。

為解決上述問題采取的技術(shù)方案是：

一種可雙軸安裝激光器的真空吸盤，包括邊緣相互密閉貼合的吸氣板和抽真空盤。

所述吸氣板上端面開矩形陣列設(shè)有若干個吸氣孔，并且在吸氣板相鄰兩邊X軸和Y軸間距均勻地開設(shè)激光器的安裝孔，用于密閉安裝激光器后打標(biāo)定位，所述抽真空盤內(nèi)部設(shè)有空腔，空腔內(nèi)還矩形陣列設(shè)置有若干個支撐柱，空腔對位的兩邊還開設(shè)有若干個抽氣孔，所述抽氣孔底部還連通有匯流槽，所述匯流槽底部密閉固連有底座，所述底座中部固連有抽氣管，抽氣管與外部抽氣設(shè)備連接，將抽真空盤的空腔內(nèi)的空氣抽離，并對吸氣板所有吸氣孔抽氣，以此將放置在吸氣板上端面的PCB板吸附住。

進一步地，相鄰兩所述支撐柱之間的間距遠大于相鄰兩所述吸氣孔之間的間距。

進一步地，所述吸氣孔開設(shè)位置的豎直方向與支撐柱所在位置不重疊。

進一步地，所述抽真空盤底面中部還設(shè)有凸出平臺。

進一步地，所述凸出平臺上矩形陣列設(shè)置有螺紋孔，與工作臺之間通過螺釘螺接固連。

本實用新型的有益效果是：

該可雙軸安裝激光器的真空吸盤利用在真空吸盤X軸、Y軸上雙向地設(shè)置安裝孔，在安裝孔上密閉安裝有激光器，利用雙向激光器實現(xiàn)雙點、雙面打標(biāo)定位，結(jié)合自動抓取機械臂即可將待定位的PCB板定位放置在真空吸盤上，且該真空吸盤摒棄了傳統(tǒng)現(xiàn)有吸盤的支撐棱柱過多的加工不便，成本高的設(shè)計弊端，采用大間距的支撐柱，減少加工走刀次數(shù)，降低生產(chǎn)真空吸盤的制造成本，也不會影響到吸氣板的平面度，簡單實用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。