[實用新型]一種預真空鎖模塊

有效

• 申請號: 202023184107.6
• 申請日: 2020-12-25
• 公開（公告）號: CN213583732U
• 公開（公告）日: 2021-06-29
• 發明（設計）人: 邱勇;孫曉東
• 申請（專利權）人: 上海諳邦半導體設備有限公司;上海訊穎電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 成都頂峰專利事務所(普通合伙) 51224
• 代理人: 楊國瑞

1.一種預真空鎖模塊，包括有封閉腔室(1)和門板，其中，所述門板用于打開所述封閉腔室(1)，以供外部的晶圓拿取手臂進出腔內，其特征在于：還包括有升降旋轉臺(3)、激光發射器(41)、激光接收器(42)、晶圓左邊緣承載板(51)和晶圓右邊緣承載板(52)；

所述升降旋轉臺(3)設置在所述封閉腔室(1)的腔內底部中心位置，并能夠垂直升降以及在承接晶圓(100)后帶動所述晶圓(100)在水平面上旋轉；

所述激光發射器(41)和所述激光接收器(42)在所述封閉腔室(1)的腔內上下對準設置，并使所述激光發射器(41)和所述激光接收器(42)的位置中心至所述升降旋轉臺(3)的旋轉軸心線的徑向間距分別等于所述晶圓(100)的半徑；

所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)分別水平設置在所述封閉腔室(1)的腔內左右側壁上，并使所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)處于同一水平面上。

2.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：在所述封閉腔室(1)的腔內設置有多層上下等間距布置的所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)。

3.如權利要求2所述的預真空鎖模塊，其特征在于：相鄰的上層所述晶圓左邊緣承載板（51）至下層所述晶圓左邊緣承載板（51）之間的層間距介于10D～30D之間，其中，D表示所述晶圓100的厚度。

4.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：還包括有分別可導通/截止的抽氣管道(6)和充氣管道(7)，其中，所述抽氣管道(6)和所述充氣管道(7)分別連通所述封閉腔室(1)的腔內。

5.如權利要求4所述的預真空鎖模塊，其特征在于：在所述充氣管道(7)中設置有空氣過濾器。

6.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：所述激光發射器(41)和所述激光接收器(42)的位置中心可在所述旋轉軸心線的徑向上活動調節。

7.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：所述激光發射器(41)嵌設在所述封閉腔室(1)的腔內頂面上，所述激光接收器(42)嵌設在所述封閉腔室(1)的腔內底面上。

8.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：所述激光發射器(41)嵌設在所述封閉腔室(1)的腔內底面上，所述激光接收器(42)嵌設在所述封閉腔室(1)的腔內頂面上。

9.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：所述激光發射器(41)至所述晶圓左邊緣承載板(51)的邊緣和所述晶圓右邊緣承載板(52)的邊緣的水平間距分別大于或等于50mm。

10.如權利要求1所述的預真空鎖模塊，其特征在于：所述晶圓左邊緣承載板(51)和所述晶圓右邊緣承載板(52)分別具有鈍角部，并使兩鈍角部左右對稱設置。