[實用新型]光波導器件有效
| 申請號: | 202023165073.6 | 申請日: | 2020-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN214896087U | 公開(公告)日: | 2021-11-26 |
| 發明(設計)人: | 釘本有紀;村田祐美;近藤勝利 | 申請(專利權)人: | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/035 | 分類號: | G02F1/035;G02F1/03 |
| 代理公司: | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人: | 季瑩;方應星 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 波導 器件 | ||
1.一種光波導器件,通過將光波導基板與保持該光波導基板的保持基板接合而成,該光波導基板為具有光電效應且熱膨脹率具有各向異性的晶體,厚度被設定為10μm以下,且具備光波導,所述光波導器件的特征在于,
該保持基板由介電常數比該光波導基板低且熱膨脹率具有各向異性的晶體形成,
該光波導基板與該保持基板以在接合面中的不同的軸向上該光波導基板與該保持基板彼此的熱膨脹率之差減小的方式接合。
2.根據權利要求1所述的光波導器件,其特征在于,
針對各向異性的軸向,所述熱膨脹率之差被設定為5ppm/℃以下。
3.根據權利要求1或2所述的光波導器件,其特征在于,
該光波導基板為鈮酸鋰或鉭酸鋰,該保持基板為α石英單晶體。
4.根據權利要求1或2所述的光波導器件,其特征在于,
所述接合是直接接合或者經由具有100nm以下的厚度的粘接層的接合。
5.根據權利要求3所述的光波導器件,其特征在于,
所述接合是直接接合或者經由具有100nm以下的厚度的粘接層的接合。
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