[實用新型]一種蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202023164330.4
• 申請日: 2020-12-24
• 公開（公告）號: CN214782099U
• 公開（公告）日: 2021-11-19
• 發明（設計）人: 吳聰原;盧玄龍;張麒麟
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214
• 代理人: 段惠存

本實用新型公開了一種蒸鍍裝置，包括真空腔體和設于真空腔體內的復數個坩堝，所述真空腔體頂部設有進料口，復數個所述坩堝均通過一進料管與所述進料口連接；還包括一進料開關，所述進料開關設有開口，所述進料開關可轉動地設于所述進料口，所述進料開關轉動時開口與進料管連通。使用本實用新型可以提高坩堝的原料填充效率。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，特別涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術

OLED，即有機發光二極管(organic light-emitting diode)是繼LCD后新一代的顯示器，具有寬視角、高亮度、高對比度、低驅動電壓和快速響應的優點，由于OLED器件對水氧十分敏感，因此在制作OLED顯示器時，主要采用在高真空環境下蒸鍍成膜，坩堝作為蒸鍍設備的蒸發源，盛放金屬或有機材料，材料受熱汽化后沉積到玻璃基板上形成有機薄膜，用于實現OLED器件發光。

現有技術的蒸鍍設備中，坩堝單次填料量有限，特別是熔融型有機材料，原始為粉末狀，溫度超過其熔點后液化，體積會比固態時縮小約1/3，在材料用至一定量后需要對蒸鍍腔室破真空，取出坩堝重新添加材料，如此降低了OLED顯示器連續制作時間，同時也降低了設備利用率及生產效率，因此有必要對目前OLED顯示器制作的蒸鍍設備進行改進優化，以解決或緩解上述問題。

實用新型內容

為了克服上述現有技術的缺陷，本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能提高填料效率的蒸鍍裝置。

為實現上述技術目的，本實用新型的技術方案如下：

一種蒸鍍裝置，包括真空腔體和設于真空腔體內的復數個坩堝，所述真空腔體頂部設有進料口，復數個所述坩堝均通過一進料管與所述進料口連接；還包括一進料開關，所述進料開關設有開口，所述進料開關可轉動地設于所述進料口，所述進料開關轉動時開口與進料管連通。

進一步的，還包括一進料斗，所述進料斗設有復數個容納槽，每個容納槽均設有一出料口，所述出料口與所述進料管連接。

進一步的，所述進料口設有密封罩。

進一步的，所述密封罩設有通槽，所述通槽設有一可翻轉地密封蓋板，所述密封罩可轉動地設于所述進料口，所述進料開關固定于通槽。

進一步的，所述進料口的環周設有數字標識，每個數字標識對應一個坩堝，密封罩的外表面設有指示箭頭，所述箭頭位置與進料開關的開口對應。

進一步的，所述真空腔體設有觀測窗。

進一步的，真空腔體內壁設有可拆卸的遮擋板。

進一步的，所述真空腔體設有抽真空裝置和破真空裝置。

進一步的，還包括一控制面板，每個所述坩堝均設有一個加熱源，所述控制面板控制每個加熱源的加熱溫度。

本實用新型的有益效果在于：

采用本實用新型技術方案的蒸鍍裝置，在填料時只需轉動進料開關，使進料開關的開口對準進料管即可對真空腔體內的坩堝進行填料，無需將坩堝從真空腔體內取出，提高填料效率。

附圖說明

圖1為本實用新型內部的結構示意圖；

圖2為本實用新型的俯視圖；

圖3為本實用新型整體的結構示意圖；

圖4為本實用新型設有進料斗的結構示意圖；

圖5為本實用新型設有進料斗的俯視圖；

圖6為本實用新型設有密封罩的結構示意圖；

標號說明：