[實(shí)用新型]清潔手指的吹掃盤和半導(dǎo)體傳輸設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023161775.7
• 申請(qǐng)日: 2020-12-24
• 公開（公告）號(hào): CN214211560U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B08B5/04
• 分類號(hào): B08B5/04;H01L21/677
• 代理公司: 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種清潔手指的吹掃盤，其特征在于，所述吹掃盤(100)的一側(cè)設(shè)有凹槽(110)，所述吹掃盤(100)朝向所述凹槽(110)開口的一側(cè)為盤面(112)，所述盤面(112)用于和手指(500)正對(duì)且間隔設(shè)置；所述凹槽(110)為圓柱形空腔，所述吹掃盤(100)內(nèi)設(shè)有至少一個(gè)進(jìn)氣道(120)，所述進(jìn)氣道(120)的一端用于和氣源連通，另一端與所述凹槽(110)連通，所述進(jìn)氣道(120)的進(jìn)氣方向沿所述凹槽(110)的切線方向，用于在所述凹槽(110)內(nèi)形成漩渦氣流來吹掃所述手指(500)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹掃盤，其特征在于，所述吹掃盤(100)內(nèi)設(shè)有環(huán)狀布?xì)馇?130)，所述環(huán)狀布?xì)馇?130)圍繞所述凹槽(110)，所述進(jìn)氣道(120)的第一端與所述環(huán)狀布?xì)馇?130)連通，所述進(jìn)氣道(120)的第二端與所述凹槽(110)連通，所述進(jìn)氣道(120)通過所述環(huán)狀布?xì)馇?130)與所述氣源連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吹掃盤，其特征在于，所述吹掃盤(100)開設(shè)有氣體輸入孔(140)，所述氣體輸入孔(140)的第一端延伸至所述吹掃盤(100)的側(cè)壁，并用于連接氣源，所述氣體輸入孔(140)的第二端與所述環(huán)狀布?xì)馇?130)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吹掃盤，其特征在于，所述進(jìn)氣道(120)的軸線為直線。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹掃盤，其特征在于，所述至少一個(gè)進(jìn)氣道(120)位于所述凹槽(110)的同一徑向橫截面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹掃盤，其特征在于，所述進(jìn)氣道(120)的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)所述進(jìn)氣道(120)繞所述凹槽(110)的周向均勻設(shè)置。

7.一種半導(dǎo)體傳輸設(shè)備，其特征在于，包括傳輸腔室(200)、吹掃腔室(300)、機(jī)械手(400)、氣源和吹掃盤(100)，其中：

所述吹掃腔室(300)與所述傳輸腔室(200)連通，所述機(jī)械手(400)位于所述傳輸腔室(200)中，所述機(jī)械手(400)包括手指(500)，且所述機(jī)械手(400)可帶動(dòng)所述手指(500)在所述傳輸腔室(200)與所述吹掃腔室(300)之間進(jìn)行位置切換；

所述吹掃盤(100)位于所述吹掃腔室(300)內(nèi)，所述吹掃盤(100)為權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的吹掃盤(100)，所述氣源和所述吹掃盤(100)的進(jìn)氣道(120)連通；

在所述吹掃盤(100)處于所述吹掃腔室(300)之內(nèi)的情況下，所述手指(500)與所述吹掃盤(100)的所述盤面(112)相對(duì)設(shè)置，且所述手指(500)與所述盤面(112)具有預(yù)設(shè)間距。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體傳輸設(shè)備，其特征在于，所述預(yù)設(shè)間距為0.2mm-1.5mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體傳輸設(shè)備，其特征在于，所述氣源通過進(jìn)氣管路與所述進(jìn)氣道(120)連通，所述進(jìn)氣管路上設(shè)有流量控制裝置，所述流量控制裝置用于控制進(jìn)氣流量。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體傳輸設(shè)備，其特征在于，所述吹掃腔室(300)開設(shè)有排氣口(310)，所述排氣口(310)上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)裝置，所述壓力調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述吹掃腔室(300)內(nèi)的壓力。