[實(shí)用新型]雙面鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023141979.4
• 申請日: 2020-12-23
• 公開（公告）號: CN215404499U
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張勇;馬朋朋;盧賢政;陳麒麟
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/50
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 林明校

本實(shí)用新型公開了雙面鍍膜系統(tǒng)，其中，雙面鍍膜系統(tǒng)用于對基材的雙面進(jìn)行鍍膜，包括：載置部，載置所述基材；第一鍍膜部，對所述基材的一面進(jìn)行鍍膜；第二鍍膜部，對所述基材的另一面進(jìn)行鍍膜；搬運(yùn)部，搬運(yùn)所述載置部，以使被載置在所述載置部的所述基材從所述第一鍍膜部被搬運(yùn)至所述第二鍍膜部，或者從所述第二鍍膜部被搬運(yùn)至所述第一鍍膜部。在本實(shí)用新型中，由于在不同的鍍膜部對基材的雙面進(jìn)行鍍膜，因此，能夠針對基材的雙面，分別鍍不同類型的鍍膜材料，能夠?qū)崿F(xiàn)基材的不同面的光電性能的差異性需求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及但不限于太陽能電池制造的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及雙面鍍膜系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在硅基材料的太陽能電池當(dāng)中，晶體硅/薄膜硅異質(zhì)結(jié)電池(HIT)由于具有制備工藝流程簡單、光電轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛關(guān)注。在HIT電池的制造中，透明導(dǎo)電氧化物薄膜(也稱TCO薄膜)作為HIT電池制造中的關(guān)鍵材料之一，影響著HIT電池的光電轉(zhuǎn)換效率以及成本。

在已知的制備HIT電池的硅片的雙面TCO薄膜的鍍膜設(shè)備當(dāng)中，既有使用在同一臺設(shè)備中設(shè)置上下的磁控濺射鍍膜源、以實(shí)現(xiàn)連續(xù)對基材n面和p面進(jìn)行鍍膜的鍍膜設(shè)備，也有使用在同一臺設(shè)備中集成磁控濺射鍍膜源與離子鍍膜源、以實(shí)現(xiàn)連續(xù)對基材n面和p面進(jìn)行鍍膜的鍍膜設(shè)備。然而，不管哪一種類型的雙面鍍膜設(shè)備，均只能鍍制同一種類型的TCO薄膜材料。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)的問題之一。為此，本實(shí)用新型提出了一種雙面鍍膜系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)在基材的雙面鍍不同類型的薄膜，實(shí)現(xiàn)基材的不同面的光電性能的差異性需求。

根據(jù)本實(shí)用新型一方面實(shí)施例的雙面鍍膜系統(tǒng)，用于對基材的雙面進(jìn)行鍍膜，包括：載置部，載置所述基材；第一鍍膜部，對所述基材的一面進(jìn)行鍍膜；第二鍍膜部，對所述基材的另一面進(jìn)行鍍膜；搬運(yùn)部，搬運(yùn)所述載置部，以使被載置在所述載置部的所述基材從所述第一鍍膜部被搬運(yùn)至所述第二鍍膜部，或者從所述第二鍍膜部被搬運(yùn)至所述第一鍍膜部。

根據(jù)本實(shí)用新型第一方面的雙面鍍膜系統(tǒng)，至少具有如下有益效果：由于在不同的鍍膜部對基材的雙面進(jìn)行鍍膜，因此，能夠針對基材的雙面，分別鍍不同類型的鍍膜材料，能夠?qū)崿F(xiàn)基材的不同面的光電性能的差異性需求。

在一些實(shí)施例中，所述第一鍍膜部包括離子鍍用鍍膜裝置，所述第二鍍膜部包括濺射鍍膜用鍍膜裝置或者離子鍍用鍍膜裝置，所述第一鍍膜部和所述第二鍍膜部分別對所述基材的兩面鍍TCO薄膜。

在一些實(shí)施例中，所述第一鍍膜部從下朝上對所述基材的一面進(jìn)行鍍膜，所述第二鍍膜部從下朝上對所述基材的另一面進(jìn)行鍍膜。

在一些實(shí)施例中，所述載置部包括第一載具和第二載具，所述基材可從所述第一載具被轉(zhuǎn)移到所述第二載具，或者從所述第二載具被轉(zhuǎn)移到所述第一載具。

在一些實(shí)施例中，所述第一載具以和所述基材的一面相對的方式支撐所述基材，被所述搬運(yùn)部搬運(yùn)并進(jìn)入所述第一鍍膜部或者從所述第一鍍膜部被送出；所述第二載具以和所述基材的另一面相對的方式支撐所述基材，被所述搬運(yùn)部搬運(yùn)并進(jìn)入所述第二鍍膜部或者從所述第二鍍膜部被送出。

在一些實(shí)施例中，還包括翻轉(zhuǎn)部，所述翻轉(zhuǎn)部設(shè)置為在所述基材從所述第一鍍膜部被搬運(yùn)至所述第二鍍膜部之前，或者在所述基材從所述第二鍍膜部被搬運(yùn)至所述第一鍍膜部之前，翻轉(zhuǎn)所述基材。

在一些實(shí)施例中，所述第一載具上設(shè)置有用于支撐所述基材的第一支撐部，所述第二載具上設(shè)置有用于支撐所述基材的第二支撐部。

在一些實(shí)施例中，所述第一支撐部包括多個支撐所述基材的邊緣部的支撐件，所述支撐件間隔分布。

在一些實(shí)施例中，所述支撐件的支撐所述基材的部分呈針狀。

在一些實(shí)施例中，所述支撐件可拆卸地安裝到所述第一載具。