[實用新型]一種可調節式雙面光刻機

有效

• 申請號: 202023125163.2
• 申請日: 2020-12-22
• 公開（公告）號: CN214504123U
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 張其文
• 申請（專利權）人: 四川鴻源鼎芯科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 徐永雷

1.一種可調節式雙面光刻機，包括機體(1)和活動盤(6)，其特征在于：所述機體(1)右端設置有機柜(2)，且機體(1)上端固定有工作臺(3)，所述工作臺(3)上側右端連接有顯示屏(4)，且工作臺(3)上側后端設置有儀表盤(5)，所述活動盤(6)連接于工作臺(3)上端中部，且活動盤(6)外側粘接有防滑塞(7)，所述活動盤(6)下端連接有驅動軸(8)，且驅動軸(8)下端設置有工作電機(9)，所述活動盤(6)下側外邊緣處固定有輔助支桿(10)，且輔助支桿(10)下端設置有滾輪(12)，所述活動盤(6)下側平行開設有滑槽(11)，且活動盤(6)上端設置有機架(13)，所述機架(13)上端連接有光刻機本體(14)，所述工作臺(3)左端下側活動連接有加固擋片(15)，且加固擋片(15)右端中部貫穿有阻尼軸(16)，所述工作臺(3)左下端中部開設有凹槽(17)，且凹槽(17)左端連接有加長板(18)。

2.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述活動盤(6)外口結構尺寸與工作臺(3)內口結構尺寸相互吻合，且活動盤(6)與工作臺(3)之間呈活動連接。

3.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述活動盤(6)與防滑塞(7)呈半包圍結構，且防滑塞(7)呈柔性結構。

4.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述活動盤(6)通過驅動軸(8)與工作電機(9)之間構成傳動結構，且活動盤(6)豎直中軸線與工作臺(3)豎直中軸線相重合。

5.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述輔助支桿(10)以活動盤(6)豎直中軸線呈環狀等距離分布，且輔助支桿(10)與滾輪(12)之間呈固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述滑槽(11)呈環狀，且滑槽(11)與滾輪(12)之間呈活動連接。

7.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述加固擋片(15)通過阻尼軸(16)與工作臺(3)之間構成翻轉結構，且加固擋片(15)關于工作臺(3)中軸線呈對稱分布。

8.根據權利要求1所述的一種可調節式雙面光刻機，其特征在于：所述加長板(18)通過凹槽(17)與工作臺(3)之間構成卡扣結構，且加長板(18)與加固擋片(15)之間呈滑動連接。