[實用新型]一種可拆卸更換的蒸鍍機的修正板機構

有效

• 申請號: 202023122109.2
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN214271022U
• 公開（公告）日: 2021-09-24
• 發明（設計）人: 薛蒙曉
• 申請（專利權）人: 蘇州佑倫真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 蘇州彰尚知識產權代理事務所(普通合伙) 32336
• 代理人: 趙成磊

為了解決現有的被鍍件采用對應的一種具有固定形狀的鍍膜修正板，這種鍍膜修正板不能適用多種被鍍件，通用性差的問題，本實用新型提出一種可拆卸更換的蒸鍍機的修正板機構，由于第一支架和第二支架與真空腔體的內壁可拆卸連接、第一修正板和第二修正板可拆卸的連接在支桿的上端，第一支架遠離真空內壁端可拆卸連接有第一連桿，第二支架遠離真空內壁端可拆卸連接有第二連桿，連接方式均為可拆卸連接，方便更換第一修正板和第二修正板，修正板機構不使用時可以拆除，結構簡單，操作方便。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍機技術領域，較為具體的，涉及到一種可拆卸更換的蒸鍍機的修正板機構。

背景技術

現有的蒸鍍設備一般包括一個蒸鍍源及一個設置于蒸鍍源上方用來承載被鍍件的傘狀的承載架。蒸鍍時，由于蒸鍍源正上方的蒸發物濃度較高，導致蒸鍍源正對的承載架的中間層圈的待鍍基材上的膜層較厚，而位于上層圈 (靠近承載架中心)的被鍍件與位于下層圈(靠近承載架邊緣)的被鍍件上的膜層較薄。因此，蒸鍍設備通常還包括一個設置于承載架與蒸鍍源之間的鍍膜修正板，用于遮擋蒸鍍源正上方的蒸發物，以減少蒸鍍源正對的被鍍件上的膜層的厚度，從而修正承載架上位于不同層圈的被鍍件上的膜層厚度的差異。由于各種被鍍件采用的蒸鍍源的蒸發速率、蒸鍍的沉積速率及被鍍件的形狀不同，各種被鍍件對鍍膜修正板的形狀的要求也不同。通常一種被鍍件采用對應的一種具有固定形狀的鍍膜修正板，這種鍍膜修正板不能適用多種被鍍件，通用性差。

實用新型內容

有鑒于此，為了解決現有的被鍍件采用對應的一種具有固定形狀的鍍膜修正板，這種鍍膜修正板不能適用多種被鍍件，通用性差的問題，本實用新型提出一種可拆卸更換的蒸鍍機的修正板機構，由于第一支架和第二支架與真空腔體的內壁可拆卸連接、第一修正板和第二修正板可拆卸的連接在支桿的上端，第一支架遠離真空內壁端可拆卸連接有第一連桿，第二支架遠離真空內壁端可拆卸連接有第二連桿，連接方式均為可拆卸連接，方便更換第一修正板和第二修正板，修正板機構不使用時可以拆除，結構簡單，操作方便。

一種可拆卸更換的蒸鍍機的修正板機構，包括支桿1、第一連桿2、第二連桿3、第一支架4、第二支架5、第一修正板6和第二修正板7，其特征在于：真空腔體的相對的內壁分別設有第一支架4和第二支架5，所述第一支架4和第二支架5與真空腔體的內壁可拆卸連接，所述第一支架4遠離真空內壁端可拆卸連接有第一連桿2，所述第二支架5遠離真空內壁端可拆卸連接有第二連桿3，所述第一連桿2遠離第一支架4端固定連接支桿1的一端，所述第二連桿3遠離第二支架5端固定連接支桿1的另一端，所述支桿1位于公轉鍍鍋和蒸發源之間，所述支桿1平行于所述公轉鍍鍋，第一修正板6 和第二修正板7可拆卸的連接在支桿1的上端且第一修正板6和第二修正板 7關于所述公轉鍍鍋的軸線對稱，所述第一修正板6和第二修正板7為柳葉形薄板，所述第一修正板6和第二修正板7間隔平行設置，第一修正板6和第二修正板7的上表面與公轉鍍鍋平行，第一修正板6和第二修正板7的下表面與蒸發源平行。

進一步的,支桿1與第一修正板6連接處設有第一螺桿8，支桿1與第二修正板7第二螺桿9，第一修正板6與第一螺桿8配合處設有第一通孔10，第二修正板7與第二螺桿9配合處設有第二通孔11，第一螺桿8穿過第一通孔10與第一修正板6通過螺帽可拆卸連接，第二螺桿9穿過第二通孔11與第二修正板7通過螺帽可拆卸連接。

進一步的，第一螺桿8的數量為2-4個，第二螺桿9的數量為2-4個，第一通孔10的數量與第一螺桿8的數量相同，第二通孔11的數量與第二螺桿9的數量相同。

進一步的，第一連桿2與第一支架4端通過螺母或者螺栓可拆卸連接，第二連桿3和第二支架5通過螺母或者螺栓可拆卸連接。

進一步的，第一支架4和第二支架5為U型框架結構,U型框架結構包括兩根豎桿12和一根橫桿13，所述一根橫桿13的兩端分別垂直連接有一根豎桿12，所述兩根豎桿12和一根橫桿13一體成型，所述每根豎桿12的遠離橫桿端設有延伸塊14。

進一步的，延伸塊14與豎桿12呈90°且延伸塊14與豎桿12一體成型。