[實用新型]一種復合襯底有效
| 申請號： | 202023113195.0 | 申請日： | 2020-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN214705900U | 公開（公告）日： | 2021-11-12 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 至芯半導體（杭州）有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/14 | 分類號： | H01L23/14;H01L23/13;H01L29/12 |
| 代理公司： | 北京華創智道知識產權代理事務所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭隨麗 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合 襯底 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合襯底，包括襯底基板（101），其特征在于：所述襯底基板（101）上交錯分布有凹槽，凹槽中填充異質材料填充層（102），異質材料填充層（102）上表面低于襯底基板（101）上表面；襯底基板（101）和異質材料填充層（102）的折射率相異且異質材料填充層（102）的折射率由底至上單調增減。
2.如權利要求1所述的復合襯底，其特征在于：所述凹槽為條狀，以縱橫垂直網格分布。
3.如權利要求1所述的復合襯底，其特征在于：所述凹槽寬度為10~1000μm，深度為10~200μm。
4.如權利要求1所述的復合襯底，其特征在于：有氮化物層（103）覆蓋在襯底基板（101）和異質材料填充層（102）上。
5.如權利要求4所述的復合襯底，其特征在于：所述氮化物層（103）厚度為5~100nm。
6.如權利要求4所述的復合襯底，其特征在于：襯底基板（101）上覆蓋的氮化物層（103）和異質材料填充層（102）上覆蓋的氮化物層（103）厚度相同。
7.如權利要求1所述的復合襯底，其特征在于：所述襯底基板（101）為藍寶石、碳化硅、氧化鋅、玻璃、金屬中的一種。
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