[實用新型]一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝

有效

• 申請號: 202023101044.3
• 申請日: 2020-12-21
• 公開（公告）號: CN214012908U
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 李東曉
• 申請（專利權）人: 無錫興華衡輝科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16M3/00;F16M7/00
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝，包括支架(1)、支撐塊(2)和箱體(9)，其特征在于：所述支架(1)與支撐塊(2)固定連接，所述支撐塊(2)右側頂端設有電機(3)，所述電機(3)與支架(1)固定連接，所述電機(3)主軸末端固定連接有小齒輪(4)，所述小齒輪(4)外側嚙合連接有大齒輪(5)，所述大齒輪(5)底端固定連接有螺紋軸(6)，所述螺紋軸(6)與支撐塊(2)轉動連接，所述螺紋軸(6)外側螺旋連接有滑塊(7)，所述滑塊(7)與支撐塊(2)滑動連接，所述滑塊(7)左側通過連接桿固定連接有清洗籃(8)，所述箱體(9)與支架(1)固定連接，所述箱體(9)內側底端固定連接有加熱管(10)，所述箱體(9)左側頂端固定連接有風機(11)，所述風機(11)頂端固定連接有風機罩(12)，所述風機罩(12)與箱體(9)固定連接，所述箱體(9)左側通過連接管固定連接有液位計(13)，所述箱體(9)左側底端通過連接管固定連接有水泵(15)，所述水泵(15)另一端通過連接管固定連接有IPA液體罐(14)，所述IPA液體罐(14)與支架(1)固定連接，所述支架(1)底端左右兩側均固定連接有第一電動伸縮桿(16)，所述第一電動伸縮桿(16)底端通過連接板固定連接有第二電動伸縮桿(17)，所述第二電動伸縮桿(17)底端固定連接有活塞桿(18)，所述活塞桿(18)外側滑動連接有彈簧(19)，所述彈簧(19)底端固定連接有吸盤(20)，所述活塞桿(18)與吸盤(20)滑動連接，所述活塞桿(18)底端固定連接有活塞頭(21)，所述活塞頭(21)與吸盤(20)滑動連接。

2.根據權利要求1所述的一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝，其特征在于：所述大齒輪(5)的直徑是小齒輪(4)直徑的兩倍。

3.根據權利要求1所述的一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝，其特征在于：所述加熱管(10)呈螺旋狀設置，所述加熱管(10)是由鋼材質的管材制成的。

4.根據權利要求1所述的一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝，其特征在于：所述液位計(13)左側設置有刻度表，所述液位計(13)是由透明材質的亞克力板材制成的。

5.根據權利要求1所述的一種多級導流結構的半導體硅晶片清洗工裝，其特征在于：所述吸盤(20)的個數共有4個，所述吸盤(20)呈左右對稱設置。