[實用新型]一種高純金靶材加工成型用冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202023080400.8
• 申請日: 2020-12-18
• 公開（公告）號: CN213944837U
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙久祥
• 申請（專利權(quán)）人: 涿州有融新材料科技有限公司
• 主分類號: B22D27/04
• 分類號: B22D27/04;C23C14/35;C23C14/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種高純金靶材加工成型用冷卻裝置，包括上模板和下模板；所述下模板的下方設(shè)有底座，所述底座的上表面、下模板的左右兩側(cè)均設(shè)有擋板，所述擋板和底座均通過導(dǎo)熱硅膠與下模板固定連接；所述下模板的左右兩側(cè)均設(shè)有多個第一導(dǎo)熱管，所述第一導(dǎo)熱管的右側(cè)、擋板的內(nèi)部設(shè)有第二導(dǎo)熱管；所述擋板的外側(cè)設(shè)有多個散熱圈；所述下模板的后方、底座的上表面還固定有冷凝器，所述冷凝器的輸出端上設(shè)有冷凝管；在金屬靶加工成型的過程中，下模板通過第一導(dǎo)熱管和第一導(dǎo)熱管將熱量傳遞給散熱圈，散熱圈具有很好的散熱效果；此外冷凝器將冷媒傳輸給冷凝管，冷媒在冷凝器和冷凝管中循環(huán)流動，進(jìn)一步的起到了對下模板降溫的作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及金屬靶加工領(lǐng)域，具體是一種高純金靶材加工成型用冷卻裝置。

背景技術(shù)

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源，簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)；靶材在生產(chǎn)過程中，需要對靶材進(jìn)行冷卻，傳統(tǒng)的冷卻采用風(fēng)冷，風(fēng)冷過程中，容易使空氣中的灰塵、顆粒等雜質(zhì)吸附在靶材表面，影響美觀度，冷卻效果差。

在此基礎(chǔ)上，中國專利公告號CN210529044U公開了一種靶材的U型冷卻水循環(huán)裝置，包括第一支撐板，第一支撐板的頂端一側(cè)焊接有第二支撐板，第二支撐板的一側(cè)側(cè)壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方設(shè)置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互遠(yuǎn)離的一側(cè)連接有循環(huán)管，循環(huán)管上連接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽側(cè)壁焊接有第一導(dǎo)熱板，第一導(dǎo)熱板相互靠近的一側(cè)側(cè)壁沿豎直方向開設(shè)有卡位槽，卡位槽內(nèi)滑動連接有第二導(dǎo)熱板，第二支撐板靠近第二U型管的一側(cè)側(cè)壁開設(shè)有滑槽；該實用新型將傳統(tǒng)的風(fēng)冷替換為水冷，不僅能夠快速對多個不同大小和厚度的靶材進(jìn)行水冷卻，而且對冷卻水進(jìn)行快速循環(huán)散熱，提高了冷卻效率；該裝置僅僅通過水冷進(jìn)行散熱，缺少導(dǎo)熱裝置，裝置中產(chǎn)生的熱量往往不能充分的傳遞出來，進(jìn)而造成了冷卻不充分的現(xiàn)象。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種高純金靶材加工成型用冷卻裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種高純金靶材加工成型用冷卻裝置，包括上模板和下模板，所述下模板位于上模板的正下方；所述下模板的下方設(shè)有底座，所述底座的上表面、下模板的左右兩側(cè)均設(shè)有擋板，所述擋板和底座均通過導(dǎo)熱硅膠與下模板固定連接；所述下模板的左右兩側(cè)均設(shè)有多個第一導(dǎo)熱管，所述第一導(dǎo)熱管穿插在導(dǎo)熱硅膠的內(nèi)部并與其固定連接，所述第一導(dǎo)熱管的右側(cè)、擋板的內(nèi)部設(shè)有第二導(dǎo)熱管；所述擋板的外側(cè)設(shè)有多個散熱圈，所述散熱圈的右側(cè)設(shè)有水箱，所述水箱與底座固定連接，所述散熱圈遠(yuǎn)離擋板的一端位于水箱的內(nèi)部；所述下模板的后方、底座的上表面還固定有冷凝器，所述冷凝器的輸出端上設(shè)有冷凝管，所述冷凝管為“S”型回旋形狀設(shè)置，所述冷凝管穿插在導(dǎo)熱硅膠的內(nèi)部，所述擋板和下模板的頂部還固定有壓板。

作為本實用新型的優(yōu)選方案：所述下模板的外部固定有第一導(dǎo)熱片，所述第一導(dǎo)熱管的右端與第一導(dǎo)熱片固定連接。

作為本實用新型再進(jìn)一步的優(yōu)選方案：所述擋板的內(nèi)側(cè)固定有第二導(dǎo)熱片，所述第一導(dǎo)熱管的右端與第二導(dǎo)熱片固定連接，第二導(dǎo)熱管的左端與第二導(dǎo)熱片固定連接。

作為本實用新型再進(jìn)一步的優(yōu)選方案：所述擋板的外側(cè)還固定有第三導(dǎo)熱片，所述第二導(dǎo)熱管的右端與第三導(dǎo)熱片固定連接，散熱圈的左端與第三導(dǎo)熱片固定連接。

作為本實用新型再進(jìn)一步的優(yōu)選方案：所述水箱的內(nèi)部設(shè)有溫度傳感器，溫度傳感器的內(nèi)部設(shè)有微處理器，水箱的右壁上分別設(shè)有進(jìn)水口和出水口，所述進(jìn)水口與外部水源相通，所述進(jìn)水口出水口上均設(shè)有電磁閥。